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J-GLOBAL ID：202102255286419451   整理番号：21A0147489

有効熱伝導率と同一平坦表面の試料に関する走査型熱顕微鏡法【JST・京大機械翻訳】

Scanning thermal microscopy on samples of varying effective thermal conductivities and identical flat surfaces

著者 (7件)： Guen E. (CETHIL UMR5008, Univ Lyon, CNRS, INSA-Lyon, Universite Claude Bernard Lyon 1, F-69621 Villeurbanne, France) ,  Chapuis P.-O. (CETHIL UMR5008, Univ Lyon, CNRS, INSA-Lyon, Universite Claude Bernard Lyon 1, F-69621 Villeurbanne, France) ,  Rajkumar R. (Kelvin Nanotechnology, Glasgow, Scotland G12 8LS, United Kingdom) ,  Dobson P. S. (School of Engineering, University of Glasgow, Glasgow, Scotland G12 8QQ, United Kingdom) ,  Mills G. (Kelvin Nanotechnology, Glasgow, Scotland G12 8LS, United Kingdom) ,  Weaver J. M. R. (School of Engineering, University of Glasgow, Glasgow, Scotland G12 8QQ, United Kingdom) ,  Gomes S. (CETHIL UMR5008, Univ Lyon, CNRS, INSA-Lyon, Universite Claude Bernard Lyon 1, F-69621 Villeurbanne, France)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 128  号： 23  ページ： 235301-235301-12  発行年： 2020年 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 二酸化ケイ素ステップの試料を用いて,走査熱顕微鏡(SThM)プローブ応答の特性評価法を提案した。チェス盤状試料は同一の粗さを有する同じ材料からなる一連の9つの表面を提供するが,単一シリコンウエハ上に定在するシリカ層の異なる厚さから成る。9つの領域は,異なる有効熱伝導率を持ち,与えられた表面条件のセット内のSThMプローブの較正を可能にした。重要な利点は,異なるプローブに対する試料の垂直不均一性に対する空間分解能と感度を比較する可能性である。実験データから熱接触面積と接触熱抵抗を決定するためにモデルを提供した。結果は,弾道熱伝導が,特に200nm以下の膜厚と200nm以下の有効熱接触半径に対して,トップ薄膜以下の結晶基板で重要であることを示した。また,それらは,真空中ではなく,空気条件下でマイクロメートル膜以下の基板と同様に,超薄膜に対するSThMの感度も強調した。本研究は,通常の光熱法が実装するのが難しい,定量的ナノメートルスケールの熱計測を進歩させる。Copyright 2021 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *熱伝導 ,  プローブ ,  二酸化ケイ素 ,  表面粗さ ,  膜厚 ,  接触熱抵抗 ,  不均一性 ,  キャラクタリゼーション ,  超薄膜 ,  空間分解能
準シソーラス用語： *走査型熱顕微鏡 ,  接触面積 ,  シリコンウエハ ,  *有効熱伝導率 ,  ナノメータサイズ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： 有効熱伝導率 ,  平坦 ,  試料 ,  走査型熱顕微鏡法