ガス希薄化におけるMEMSカンチレバービーム共振器の品質に及ぼす環境条件の影響【JST・京大機械翻訳】

Phan Minh Truong; Trinh Xuan Thang; Le Quoc Cuong; Ngo Vo Ke Thanh; Nguyen Chi Cuong; Nguyen Chi Cuong

文献

J-GLOBAL ID：202102258295654936 整理番号：21A0305707

ガス希薄化におけるMEMSカンチレバービーム共振器の品質に及ぼす環境条件の影響【JST・京大機械翻訳】

Effect of Environmental Conditions on Quality Factors of MEMS Cantilever Beam Resonator in Gas Rarefaction

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資料名：
巻： 22 号： 1 ページ： 6 発行年： 2021年
JST資料番号： W4938A ISSN： 1557-2072 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：ドイツ (DEU) 言語：英語 (EN)

本論文では,広範囲のガス希薄化(圧力(p)および適応係数(AC))および共振器の曲げモードにおけるマイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)カンチレバービーム共振器の品質因子(Q因子)に及ぼす環境条件(水分および温度)の影響を検討した。改質分子ガス潤滑(MMGL)方程式を適用して,MEMSカンチレバービーム共振器の品質因子に関する支配的スクイーズ膜減衰(SFD)問題をモデル化し,環境条件の影響を論じた。外部SFDと内部構造減衰(熱弾性減衰)と支持損失を正確に考慮した。湿潤空気の動的粘度とPoiseuille流量の比である有効粘度を利用して,ガス希薄化における水分と温度の環境影響を考慮したMMGL方程式を修正した。低圧では,平均自由行程は,ガス希薄化における水分の動的粘度よりも,相対湿度および温度により,より顕著に変化した。したがって,湿度や温度などの環境条件の影響を,広範囲のガス希薄化(pとAC)と共振器の曲げモードにおけるMEMSカンチレバービーム共振器のQ因子を改善するために議論しなければならない。結果は,SFDのQ因子が,より高いガス希薄化(低いp,およびACs)で,水分と温度が増加するにつれて,かなり減少し,一方,SFDのQ因子は減少し,次に,より低いガス希薄化(より高いp,およびACs)で,水分と温度の増加に伴い,わずかに増加する事を示した。全Q因子は,より高いガス希薄化(低いpとAC)と共振器の低い曲げモードにおいて,相対湿度と温度に非常に敏感である。Copyright The Author(s), under exclusive licence to Springer Science+Business Media, LLC part of Springer Nature 2021 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

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共振器 , 固体デバイス製造技術一般

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