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J-GLOBAL ID：202102258770340133   整理番号：21A2170691

圧電BiFeO_3薄膜:Si上のMOCVDプロセスの最適化【JST・京大機械翻訳】

Piezoelectric BiFeO3 Thin Films: Optimization of MOCVD Process on Si

著者 (3件)： Micard Quentin ,  Condorelli Guglielmo Guido ,  Malandrino Graziella
資料名： Nanomaterials (Web)  (Nanomaterials (Web))
巻： 10  号： 4  ページ： 630  発行年： 2020年 
JST資料番号： U7252A  ISSN： 2079-4991  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 鉛フリーハイブリッドエネルギーハーベスタの次世代に向けて移動するために,シリコンベース基板上へのペロブスカイトBiFeO_3膜の堆積のための簡単で最適化した金属有機化学蒸着(MOCVD)プロトコルを示した。Bi(フェニル)_3とFe(tmhd)_3から成るバイメタル混合物を前駆体源として用いた。BiFeO_3膜をIrO_2/Si基板上にMOCVDにより成長させ,導電性IrO_2は底部電極と緩衝層として機能する。BiFeO_3膜を,構造キャラクタリゼーションのためにX線回折(XRD),および形態学的および化学的キャラクタリゼーションのためにエネルギー分散X線(EDX)分析と組み合わせた電界放出走査電子顕微鏡(FE-SEM)によってそれぞれ分析した。これらの研究は,堆積膜が多結晶で,純粋なBiFeO_3相が,全基板表面にわたって,形態と組成で高度に均一であることを示した。圧電力顕微鏡(PFM)および圧電力分光法(PFS)は膜の圧電および強誘電特性を確認した。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  *最適化 ,  *薄膜 ,  ケイ素 ,  バイメタル ,  *圧電気 ,  強誘電性 ,  多結晶 ,  前駆体 ,  *MOCVD ,  力顕微鏡 ,  ペロブスカイト型結晶 ,  バッファ層 ,  導電性 ,  モルフォロジー
準シソーラス用語： 電界放出型走査電子顕微鏡 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： BiFeO_3 ,  MOCVD ,  Si基板 ,  薄膜 ,  ペロブスカイト ,  鉛フリー圧電 ,  エネルギーハーベスティング

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (31件)：

• Choi, T.; Lee, S.; Choi, Y.J.; Kiryukhin, V.; Cheong, S.-W. Switchable ferroelectric diode and photovoltaic effect in BiFeO3. Science 2009, 324, 63-66.
• Catalan, G.; Scott, J.F. Physics and Applications of Bismuth Ferrite. Adv. Mater. 2009, 21, 2463-2485.
• Irfan, S.; Liang, G.; Li, F.; Chen, Y.; Rizwan, S.; Jin, J.; Zheng, Z.; Ping, F. Effect of graphene oxide nano-sheets on structural, morphological and photocatalytic activity of BiFeO3-based nanostructures. Nanomaterials 2019, 9, 1337.
• Li, J.; Wang, Y.; Ling, H.; Qiu, Y.; Lou, J.; Hou, X.; Bag, S.P.; Wang, J.; Wu, H.; Chai, G. Significant enhancement of the visible light photocatalytic properties in 3D BiFeO3/graphene composites. Nanomaterials 2019, 9, 65.
• Queraltó, A.; Frohnhoven, R.; Mathur, S.; Gómez, A. Intrinsic piezoelectric characterization of BiFeO3 nanofibers and its implications for energy harvesting. Appl. Surf. Sci. 2020, 509, 144760/1-144760/8.

タイトルに関連する用語 (6件)： 圧電 ,  薄膜 ,  Si ,  MOCVD ,  プロセス ,  最適化