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J-GLOBAL ID：202102261303938340   整理番号：21A0552363

原子分解能ホログラフィー顕微鏡の開発

Development of atomic-resolution holography microscope

著者 (9件)： 大門寛 (豊田理化学研究所) ,  桃野浩樹 (米子工業高等専門学校) ,  松田博之 (分子科学研究所) ,  TOTH Laszlo (デブレツェン大学) ,  益田有 ((株)アプコ) ,  小粥啓子 ((株)アプコ) ,  竹内走一郎 (奈良先端科学技術大学院大学) ,  橋本由介 (奈良先端科学技術大学院大学) ,  松下智裕 (奈良先端科学技術大学院大学)
資料名： 日本表面真空学会学術講演会要旨集(Web)
巻： 2020  ページ： 13(J-STAGE)  発行年： 2020年 
JST資料番号： U1883A  ISSN： 2434-8589  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高いエネルギー分解能を持つ二次元分析器Compact DELMAと,走査電子顕微鏡機能を持つ小型電子線鏡筒(APCO社MINI-EOC)とを組み合わせた「原子分解能ホログラフィー顕微鏡」について報告する。ナノ領域を走査電子顕微鏡で確認し,そのナノ領域の中の孤立原子の周りの3次元原子配列構造をホログラフィーで直視することができる。エネルギー分解能が高いため,価数を分離してホログラフィー解析が行える。(著者抄録)

シソーラス用語： *分解能 ,  *顕微鏡 ,  走査電子顕微鏡 ,  配列 ,  *エネルギー分解能 ,  ドーパント
準シソーラス用語： *ホログラフィー顕微鏡 ,  原子配列 ,  *原子分解能

分類 (2件)： 粒子光学一般  (BD02010J) ,  電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (3件)： 原子分解能 ,  ホログラフィー顕微鏡 ,  開発