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J-GLOBAL ID：202102266692245019   整理番号：21A0984714

モバイルSoCと高性能計算応用のための完全開発EUVと高移動度チャネルを有する5μm世代FinFETを特徴とする信頼性強化5nmCMOS技術【JST・京大機械翻訳】

A Reliability Enhanced 5nm CMOS Technology Featuring 5^th Generation FinFET with Fully-Developed EUV and High Mobility Channel for Mobile SoC and High Performance Computing Application

著者 (16件)： Liu J.C. (ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan) ,  Mukhopadhyay S. (ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan) ,  Kundu Amit (ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan) ,  Chen S.H. (ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan) ,  Wang H.C. (ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan) ,  Huang D.S. (ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan) ,  Lee J.H. (ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan) ,  Wang M.I. (ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan) ,  Lu Ryan (ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan) ,  Lin S.S. (ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan) ,  Chen Y.M. (ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan) ,  Shang H.L. (ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan) ,  Wang P.W. (ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan) ,  Lin H.C. (ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan) ,  Yeap Geoffrey (ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan) ,  He Jun (ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： IEDM  ページ： 9.2.1-9.2.4  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 導通半導体技術革新の分野における優位性を保つために,TSMCは,フルエッジEUVと高移動度チャネル(HMC)FinFETを用いて,その最も進んだ5nm CMOS論理ノード[1]のリスク生産を発表した。最新のモバイルSOCチップとHPCアプリケーションニーズの状態をサポートして,この5nm技術ノードは,その以前の7nm世代[1][2]と比較して,論理密度,15%速度利得,および30%電力低減において,ΔΣ_1.8x改善を提供する。本論文は,初めて,デバイスから様々なチップ/パッケージレベル信頼性試験までのTSMC5nm技術ノードの詳細な信頼性属性を示した。ここでは,N5に対する向上した性能を提供する一方で,デバイスレベルでのBias温度不安定性(BTI),ホットキャリア劣化(HCD),時間依存絶縁破壊(TDDB)劣化モードに関して信頼性の利点を実証した。また,N5ノードは,SRAMおよび論理CPU/GPUアプリケーションのためのチップレベル評価において,優れた信頼性マージンも提供する。さらに,DPPMまたは低DPPBレベルでさえ,最も厳密な産業信頼性要求と競合するために,N5論理は自動車応用に対するその利点を確認した。Copyright 2021 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 絶縁破壊 ,  半導体 ,  自動車 ,  *信頼性 ,  信頼性試験 ,  応用プログラム ,  利得 ,  ホットキャリア ,  SRAM ,  *携帯電話 ,  *CMOS
準シソーラス用語： TDDB ,  *FinFET ,  *システムオンチップ ,  *高移動度 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (11件)： モバイル ,  SOC ,  高性能計算 ,  応用 ,  開発 ,  EUV ,  高移動度 ,  チャネル ,  世代 ,  FinFET ,  強化