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J-GLOBAL ID：202102267527238105   整理番号：21A0435885

VO_2固体マイクロアクチュエータにおける異方性温度駆動歪動力学【JST・京大機械翻訳】

Anisotropic Temperature-Driven Strain Dynamics in VO₂ Solid-State Microactuators

著者 (8件)： Manca Nicola (CNR-SPIN, Italy) ,  Manca Nicola (Dipartimento di Fisica, Universita degli Studi di Genova, Italy) ,  Kanki Teruo (Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University, Japan) ,  Endo Fumiya (Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University, Japan) ,  Ragucci Enrico (Dipartimento di Fisica, Universita degli Studi di Genova, Italy) ,  Pellegrino Luca (CNR-SPIN, Italy) ,  Marre Daniele (Dipartimento di Fisica, Universita degli Studi di Genova, Italy) ,  Marre Daniele (CNR-SPIN, Italy)
資料名： ACS Applied Electronic Materials  (ACS Applied Electronic Materials)
巻： 3  号： 1  ページ： 211-218  発行年： 2021年 
JST資料番号： W5669A  ISSN： 2637-6113  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： VO_2は,高いエネルギー密度に関連した大きな格子変化によって特性化されるその相転移のために,固体マイクロおよびナノアクチュエータの開発にとって特に魅力的な材料である。そのマルテンサイト変態は,強い異方性であり,c軸は,ほぼ1%だけ収縮し,一方,aおよびb軸は,それぞれ,約0.5および0.4%拡大した。これは,多結晶VO_2と平均化機構の採用がデバイス性能を低下させる可能性があるので,VO_2ベースのホルスコリンスキームを開発する際に考慮すべき重要な側面である。本研究は,異なる結晶微細構造,すなわち単結晶と「モザイク化」を持つ薄膜を特性化することによって,その相転移を横切るVO_2中のビルトイン歪の定量的解析を提供した。エピタキシャル薄膜における異なる格子方向に沿ったビルトイン歪を定量的に測定する一般的方法を示す。この方法は,異なる格子方向に沿って整列した二重クランプマイクロブリッジの光学的形状測定に基づいている。VO_2素子の歪動力学と異方性はVO_2結晶微細構造によって制御できる。さらに,機械的自由度がVO_2微視力学系の輸送特性に影響することを実証した。Copyright 2021 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 異方性 ,  エピタクシー ,  相転移 ,  単結晶 ,  薄膜 ,  マルテンサイト変態 ,  多結晶 ,  定量的分析 ,  モザイク性 ,  エネルギー密度 ,  アクチュエータ ,  自由度 ,  キャラクタリゼーション ,  *微視力学 ,  ケトン ,  脂環式化合物 ,  脂肪酸 ,  酸素複素環化合物 ,  ビニル化合物 ,  ヒドロキシ化合物 ,  三環ジテルペン ,  カルボン酸エステル

著者キーワード (5件)： 歪異方性 ,  VO_2 ,  MEMS ,  固体アクチュエータ ,  エピタキシャル歪

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

物質索引 (1件)： ホルスコリン

タイトルに関連する用語 (5件)： 固体 ,  マイクロアクチュエータ ,  異方性 ,  歪 ,  動力学