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J-GLOBAL ID：202102269278865836   整理番号：21A0796587

非晶質酸化ガリウム(a-Ga_2O_3)系高温曲げ可能な太陽ブラインド紫外光検出器【JST・京大機械翻訳】

Amorphous gallium oxide (a-Ga₂O₃)-based high-temperature bendable solar-blind ultraviolet photodetector

著者 (8件)： Xiong Lingxing (State Key Laboratory of High Performance Complex Manufacturing, College of Mechanical and Electrical Engineering, Central South University, Changsha, Hunan 410083, People’s Republic of China) ,  Zhang Lei (State Key Laboratory of High Performance Complex Manufacturing, College of Mechanical and Electrical Engineering, Central South University, Changsha, Hunan 410083, People’s Republic of China) ,  Lv Qipu (State Key Laboratory of High Performance Complex Manufacturing, College of Mechanical and Electrical Engineering, Central South University, Changsha, Hunan 410083, People’s Republic of China) ,  Li Tao (State Key Laboratory of High Performance Complex Manufacturing, College of Mechanical and Electrical Engineering, Central South University, Changsha, Hunan 410083, People’s Republic of China) ,  Song Wenqing (State Key Laboratory of High Performance Complex Manufacturing, College of Mechanical and Electrical Engineering, Central South University, Changsha, Hunan 410083, People’s Republic of China) ,  Si Jiawei (State Key Laboratory of High Performance Complex Manufacturing, College of Mechanical and Electrical Engineering, Central South University, Changsha, Hunan 410083, People’s Republic of China) ,  Zhu Wenhui (State Key Laboratory of High Performance Complex Manufacturing, College of Mechanical and Electrical Engineering, Central South University, Changsha, Hunan 410083, People’s Republic of China) ,  Wang Liancheng (State Key Laboratory of High Performance Complex Manufacturing, College of Mechanical and Electrical Engineering, Central South University, Changsha, Hunan 410083, People’s Republic of China)
資料名： Semiconductor Science and Technology  (Semiconductor Science and Technology)
巻： 36  号： 4  ページ： 045010 (7pp)  発行年： 2021年 
JST資料番号： E0503B  ISSN： 0268-1242  CODEN： SSTEET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Ni/非晶質Ga_2O_3(a-Ga_2O_3)/a-AlN/Cu箔構造に基づいて,屈曲性で熱的に安定な太陽ブラインド紫外線(UV)光検出器を実証した。ここで,Cu箔は曲げ可能な基板として同時に作用し,高温環境に耐えることができる。超ワイドバンドギャップa-AlN絶縁層は機械的引張応力に耐えることができ,a-Ga_2O_3とCuの間の絶縁層として効果的に作用した。このように,a-Ga_2O_3系光検出器は,異なる曲げ半径および温度を有する安定なUV応答特性を示した。光検出器は0.518AW-1の高い応答性と,1.46cmの曲げ半径を有する200°Cの温度の下で0.17sの高速応答時間を有した。例外的な曲げ性と熱安定性により,このa-Ga_2O_3系光検出器は,高出力曲げ可能な電子素子,火炎検出などの過酷な環境で有望な用途を有する。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *高温 ,  *紫外線 ,  *太陽 ,  *光検出器 ,  応答特性 ,  銅 ,  *非晶質 ,  *酸化ガリウム ,  引張応力 ,  窒化アルミニウム ,  銅箔 ,  ワイドバンドギャップ ,  曲げ半径
準シソーラス用語： 高速応答 ,  絶縁層 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 光導電素子  (NC03083X) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  測光と光検出器一般  (BD07031F)

タイトルに関連する用語 (8件)： 非晶質 ,  酸化ガリウム ,  系 ,  曲げ ,  太陽 ,  ブラインド ,  紫外光 ,  検出器