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J-GLOBAL ID:202102269720446790   整理番号:21A2308507

TaまたはTiで被覆したプラズマ電極を用いた水素負イオンの抽出【JST・京大機械翻訳】

Extraction of negative hydrogen ions using a plasma electrode covered by Ta or Ti
著者 (3件):
資料名:
巻: 2373  号:ページ: 100005-100005-7  発行年: 2021年 
JST資料番号: D0071C  ISSN: 0094-243X  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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抽出した電子電流に対する抽出された負の水素(H-)イオン電流の比に及ぼす負の水素イオン源のプラズマ電極をカバーするTa薄板のタンタル(Ta)フレッシュコーティングの効果を比較した。薄いホットTaフィラメントからの新鮮なTa蒸発は,タングステン(W)ホットフィラメントによる操作と比較して,抽出H-イオン電流の約22%の増加を示した。一方,プラズマ電極を覆う薄いTa箔は,Hイオン電流に大きな影響なしに,抽出された電子電流を減少させた。一方,チタン(Ti)箔がプラズマ電極を被覆したとき,抽出されたH-イオン電流と電子電流の両方が実質的に減少した。プラズマ電位よりも高いプラズマ電極バイアスで,Ti被覆プラズマ電極に対する電子電流に対するHイオン電流の比率は80%を超えた。Copyright 2021 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (4件):
分類
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半導体集積回路  ,  LCR部品  ,  電気化学反応  ,  金属-絶縁体-金属構造 
タイトルに関連する用語 (3件):
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