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J-GLOBAL ID：202102270958108097   整理番号：21A1958957

DCNNモデルに基づくウエハ欠陥分類【JST・京大機械翻訳】

Wafer Defect Classification Based on DCNN Model

著者 (10件)： Tian Pan (Shanghai Integrated Circuits R&D Center Co., Ltd.,Shanghai,China) ,  Li Chen (Shanghai Integrated Circuits R&D Center Co., Ltd.,Shanghai,China) ,  Fu Hao (Shanghai Integrated Circuits R&D Center Co., Ltd.,Shanghai,China) ,  Yu Xueru (Shanghai Integrated Circuits R&D Center Co., Ltd.,Shanghai,China) ,  Wei Zhengying (Shanghai HLMC,Shanghai,China) ,  Ni Qiliang (Shanghai HLMC,Shanghai,China) ,  Chen Xu (Shanghai HLMC,Shanghai,China) ,  Ding Yunwei (Shanghai HLMC,Shanghai,China) ,  Xu Ruojia (Shanghai HLMC,Shanghai,China) ,  Sun Rui (Shanghai HLMC,Shanghai,China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2021  号： CSTIC  ページ： 1-3  発行年： 2021年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ウエハ欠陥分類は,装置とプロセス安定性監視の高速応答のための半導体製造において不可欠であり,製品収率管理にとっても重要である。手動欠陥分類は時間がかかり,誤差が傾向がある。本研究では,深い畳込み中性ネットワーク(DCNN)モデルに基づく自動欠陥分類(ADC)法を提案した。訓練されたモデルは,Fabに果たすために十分に良好な欠陥分類性能を達成できることを証明した。Copyright 2021 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 畳込み ,  *ネットワーク
準シソーラス用語： 欠陥分類 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 符号理論  (ND02030R) ,  専用演算制御装置  (JC04030Y) ,  音声処理  (JE05000E)

タイトルに関連する用語 (3件)： モデル ,  ウエハ ,  欠陥分類