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J-GLOBAL ID：202102273383987518   整理番号：21A1273863

AgGaTe_2の二段階閉空間昇華中のAg_2Teバッファ層の構造変化【JST・京大機械翻訳】

Structural Change in Ag₂Te Buffer Layer During Two-Step Closed Space Sublimation of AgGaTe₂

著者 (3件)： Yu Y. (Department of Electrical Engineering and Bioscience, Waseda University, Tokyo, Japan) ,  Kobayashi M. (Department of Electrical Engineering and Bioscience, Waseda University, Tokyo, Japan) ,  Kobayashi M. (Kagami Memorial Research Institute for Materials Science and Technology, Waseda University, Tokyo, Japan)
資料名： Journal of Electronic Materials  (Journal of Electronic Materials)
巻： 49  号： 12  ページ： 7541-7546  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0277B  ISSN： 0361-5235  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： AgGaTe_2層をAg_2Teバッファ層を用いて作製した。Ag_2Te層を高周波スパッタリング法により堆積した。アニーリング中に起こるAg_2Teバッファ層表面形態と組成の変化を調べた。Ag_2Te膜を管炉中でアニールした。Ag_2Te層の組成と表面形態は熱処理温度と時間に依存して変化することが分かった。Ag_2Te層中のディウェッティングプロセスは200°Cと500°Cの間のアニーリングで生じ,O_2とMoは600°Cで反応し,MoO_3化合物になることを確認した。MoとTeは700°Cで表面から完全に脱着した。これは,Ag_2Te層の表面形態がアニーリング温度と持続時間によって制御されることを確認した。Copyright The Minerals, Metals & Materials Society 2020 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *昇華 ,  焼なまし ,  太陽電池 ,  *テルル ,  モリブデン ,  RFスパッタリング ,  継続時間 ,  *バッファ層
準シソーラス用語： アニーリング温度 ,  表面形態 ,  脱濡れ ,  二層 ,  *構造変化 ,  熱処理温度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： Ag_2Te ,  アニーリング ,  脱濡れプロセス ,  太陽電池 ,  表面形態

分類 (2件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  熱電デバイス  (NC03090J)

タイトルに関連する用語 (4件)： 段階 ,  閉空間 ,  昇華 ,  バッファ層