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J-GLOBAL ID：202102282826960509   整理番号：21A0449492

リソグラフィーにより作製したシリコン浸漬格子の精密ブレーズ角測定【JST・京大機械翻訳】

Precise blaze angle measurements of lithographically fabricated silicon immersion gratings

著者 (6件)： Lubar Emily (The Univ. of Texas at Austin (United States)) ,  Jaffe Daniel T. (The Univ. of Texas at Austin (United States)) ,  Brooks Cynthia B. (The Univ. of Texas at Austin (United States)) ,  Hickman Sierra (Univ. of Canterbury (New Zealand)) ,  Mace Gregory (The Univ. of Texas at Austin (United States)) ,  Gully-Santiago Michael (The Univ. of Texas at Austin (United States))
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 11451  ページ： 114515I-9  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン浸漬格子とgrismsは,高スループットでコンパクトな近赤外スペクトログラフを可能にする。これらの機器は,恒星と外惑星大気を特徴付け,宇宙ベースの観測所において地上ベースの努力での使用を見出す。格子製作技術は,切断前にシリコン部品を配向するためにX線結晶学を用い,次いでリソグラフィーと湿式化学エッチングによりブレーズを作製した。この過程は,(100)と(111)面の間のエッチング速度における結晶構造と相対差を利用して,表面誤差<4の部品を製造することができる。以前の測定は,化学エッチングが(111)面の配向とわずかに異なる最終エッチングブレーズを降伏できることを示した。この差は浸漬格子の場合の機械的マウントにより補正できるが,格子スループットを妥協する。grismsの場合,実際のブレーズを考慮に入れる故障は,非発散アレイの波長を変える。自家製の浸漬格子のブレーズを正確に測定する多重技術について報告する。第1の方法は,ブレーズプロファイルを画像化するために走査電子顕微鏡を使用し,0.5度の測定精度を与える。第2の方法は,回転ステージを用いてブレーズ面間の角度を測定する光学的方法であり,0.2度の測定精度を与える。最後に,理論的ブレーズ関数モデリング法を記述し,それは0.1度の測定精度を生み出すことを期待する。これらの方法で,湿式エッチングが必要なブレーズを生成し,さらに格子とグリミズム効率を最適化する精度を定量化できる。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 結晶構造 ,  最適化 ,  走査電子顕微鏡 ,  惑星大気 ,  *ケイ素 ,  波長 ,  分光写真器 ,  多重化 ,  近赤外線 ,  スループット ,  *リソグラフィー ,  宇宙空間 ,  ウェットエッチング
準シソーラス用語： 画像化 ,  エッチング速度 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (6件)： リソグラフィー ,  作製 ,  シリコン ,  浸漬 ,  格子 ,  精密