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J-GLOBAL ID：202102286440710416   整理番号：21A0697150

一軸加圧熱処理による酸化チタン薄膜の固相結晶化と光学・導電特性変化

Solid state crystallization of titanium oxide thin films, and modification of their optical and electric properties by post-depositional uniaxial compressive annealing

著者 (7件)： 生田貴大 (東京工大) ,  久富翔平 (東京工大) ,  大賀友瑛 (東京工大) ,  金子智 (神奈川県産業技総研) ,  金子智 (東京工大) ,  松田晃史 (東京工大) ,  吉本護 (東京工大)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 81st  ページ： ROMBUNNO.10p-Z05-19  発行年： 2020年08月26日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 【はじめに】酸化チタン(TixOy)は、チタンが2~4価までの価数を示すTiOやTiO2、Ti2O3さらには非化学量論組成であるマグネリ相TinO2n-1(n=4~10)など様々な酸化状態が存在する[1]。たとえば最安定相TiO2は光触媒や...【本文一部表示】

シソーラス用語： X線回折 ,  エピタクシー ,  *結晶化 ,  結晶構造 ,  焼なまし ,  相転移 ,  電気伝導率 ,  *薄膜 ,  *チタン ,  *酸化チタン ,  非晶質 ,  *加圧 ,  *固相 ,  *導電性
準シソーラス用語： Magneli相 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  燃料電池  (YB04040V) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  電気化学反応  (CB07050F)

タイトルに関連する用語 (8件)： 一軸 ,  加圧 ,  熱処理 ,  酸化チタン薄膜 ,  固相 ,  結晶化 ,  光学 ,  導電特性