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J-GLOBAL ID：202102287454426877   整理番号：21A0241613

磁気レオロジー研磨に基づく小空間周期位相要素の作製法【JST・京大機械翻訳】

Method for fabricating small space period phase elements based on magnetorheological polishing

著者 (4件)： Tang Caixue (China Academy of Engineering Physics (China)) ,  Wen Shenglin (China Academy of Engineering Physics (China)) ,  Zhang Yuanhang (China Academy of Engineering Physics (China)) ,  Yan Hao (China Academy of Engineering Physics (China))
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 11617  ページ： 116172X-12  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 従来の光学処理技術は加工装置の除去機能の幾何学的サイズと安定性のような因子によって制限され,大きな深さと小さい周期を有する複雑な構造で光学素子を処理するのは非常に難しい。特に,深さがミクロンレベルであり,空間周期がミリメートルレベルである複雑な構造の光学素子の高効率で高精度の処理は,常に技術的困難であった。本論文は,磁気粘性研磨技術に基づく複雑な構造で光学部品を処理する方法を提案して,従来の磁気粘性研磨技術小型除去機能生成と安定制御問題を解明して,安定した除去効率とモルフォロジー機能によって小さなサイズ除去を得た。磁気粘性流体循環システムは磁気粘性研磨機の重要な成分である。従来の磁気粘性流体循環システムの構造は,小さな流動条件に基づき磁気粘性流体の安定した伝達に適合するのは,むずかしかった。本論文は,磁気粘性流体制御の安定性を達成するために,可変直径背圧パイプラインと組み合わせた二重蠕動ポンプと脈動ダンパの方法を提案した。磁気粘性流体の流動変動誤差は10-40ml/分から1-5ml/分に減少した。機械の研磨ホイールの直径は20mmであり,磁気粘性流体の流量は200ml/minである。二次元正弦波表面処理を磁気粘性機械を用いて行った。正弦波表面設計PV=1.0λ(λ=632.8nm),RMS=159.5nm,空間周期は3mm,要素サイズは50mm×50mmであった。除去機能の幅は1.33mmであり,FWHH(半分のHull Width)は0.98mmであり,そして,体積除去率は0.004mm3/minであった。要素が完了後,残留RMSは元の159.5nmから15.7nmに減少し,その収束速度は90.1%で,高い収束精度を示した。実験結果は,本論文で提案した磁気粘性流体循環システムの構成が小サイズ除去機能の生成と安定制御を実現し,最終的に最小空間周期3mmの位相部品の製作を実現することを示した。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *研磨 ,  表面処理 ,  流量 ,  ダンパ ,  正弦波 ,  背圧 ,  研磨機 ,  磁気粘性 ,  *位相 ,  二次元 ,  光学素子 ,  モルフォロジー
準シソーラス用語： 光学部品 ,  高効率 ,  MR流体 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 磁性流体  (BM06090W)

タイトルに関連する用語 (7件)： 磁気レオロジー ,  研磨 ,  小空間 ,  周期 ,  位相 ,  要素 ,  作製法