Meinel Katja について
Center for Microtechnologies, Chemnitz University of Technology, 09111 Chemnitz, Germany について
Melzer Marcel について
Center for Microtechnologies, Chemnitz University of Technology, 09111 Chemnitz, Germany について
Stoeckel Chris について
Center for Microtechnologies, Chemnitz University of Technology, 09111 Chemnitz, Germany について
Stoeckel Chris について
Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS, 09126 Chemnitz, Germany について
Shaporin Alexey について
Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS, 09126 Chemnitz, Germany について
Forke Roman について
Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS, 09126 Chemnitz, Germany について
Zimmermann Sven について
Center for Microtechnologies, Chemnitz University of Technology, 09111 Chemnitz, Germany について
Zimmermann Sven について
Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS, 09126 Chemnitz, Germany について
Hiller Karla について
Center for Microtechnologies, Chemnitz University of Technology, 09111 Chemnitz, Germany について
Hiller Karla について
Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS, 09126 Chemnitz, Germany について
Otto Thomas について
Center for Microtechnologies, Chemnitz University of Technology, 09111 Chemnitz, Germany について
Otto Thomas について
Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS, 09126 Chemnitz, Germany について
Kuhn Harald について
Center for Microtechnologies, Chemnitz University of Technology, 09111 Chemnitz, Germany について
Kuhn Harald について
Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS, 09126 Chemnitz, Germany について
Sensors (Web) について
フィードバック制御 について
圧電気 について
アクチュエータ について
二次元 について
窒化アルミニウム について
センサ について
キャラクタリゼーション について
蛍光顕微鏡 について
マイクロミラー について
角度センサ について
設計最適化 について
ピエゾフィルム について
モノリシック集積化 について
シリコン(111) について
2D について
AlN について
窒化アルミニウム について
角度センサ について
マイクロミラー について
マイクロスキャナ について
二次元走査 について
圧電 について
入出力装置 について
固体デバイス製造技術一般 について
圧電薄膜 について
窒化アルミニウム について
走査 について
モノリシック集積 について
角度センサ について
2D について
マイクロミラー について