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J-GLOBAL ID：202102297922829188   整理番号：21A2152673

圧電・超音波材料 ScAlNとPbTiO₃エピタキシャル薄膜を用いた高効率超音波トランスデューサの現状

著者 (2件)： 岩田直也 (早稲田大) ,  柳谷隆彦 (早稲田大)
資料名： 超音波Techno  (超音波テクノ)
巻： 33  号： 4  ページ： 90-94  発行年： 2021年08月01日 
JST資料番号： L2344A  ISSN： 0916-2410  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・超音波診断装置や非破壊検査装置に用いられている超音波トランスデューサの製造にあたり,RFマグネトロンスパッタ法で様々な圧電薄膜を成長させ,その性能を評価。
・圧電性の観点からPTO,ScAlNが数十MHz帯の超音波トランスデューサとして有望であり,未踏の数十μm程度の厚さまで成長させたエピタキシャルScAlN,PTO厚膜について紹介。
・PTO薄膜は誘電率が大きいが,圧電性に優れ,耐電力性も大きいため,平面のトランスデューサに適し,ScAlN薄膜は誘電率が小さく圧電性も大きいため,トランスデューサとして有望。

シソーラス用語： *窒化アルミニウム ,  *スカンジウム ,  *チタン酸鉛 ,  超音波変換器 ,  非破壊検査 ,  スパッタ蒸着 ,  誘電率 ,  結晶方位 ,  シミュレーション ,  圧電材料
準シソーラス用語： *PbTiO₃ ,  RFマグネトロンスパッタリング ,  *エピタキシャル層 ,  圧電性薄膜 ,  圧電薄膜 ,  *高効率 ,  *超音波トランスデューサ ,  *超音波診断装置

分類 (1件)： 非破壊試験  (HB02030F)

タイトルに関連する用語 (7件)： 圧電 ,  超音波 ,  エピタキシャル ,  薄膜 ,  高効率 ,  超音波トランスデューサ ,  現状