特許

J-GLOBAL ID：202103001654986034

ランダムマイクロニードル

発明者： 會田 英雄 ,  金 聖祐 ,  藤居 大毅 ,  池尻 憲次朗 ,  川又 友喜 ,  矢口 洋一
出願人/特許権者： アダマンド並木精密宝石株式会社
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-199374
公開番号（公開出願番号）：特開2018-058743
特許番号：特許第6910047号
出願日： 2016年10月07日
公開日（公表日）： 2018年04月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】200°C以下のスパッタにより、ダイヤ単結晶上に膜厚0.1〜1.0μmでNi膜を積層し、 次に、Ni膜を加熱して凝集し、配向性を持たない斑状のランダムマイクロパターンを形成し、 次に、ダイヤ単結晶を水素雰囲気下で再度加熱し、Ni膜下のダイヤ単結晶を900°C〜1000°Cで熱加工して、ランダムマイクロニードルを形成し、 ランダムマイクロニードル間に於ける隣接した頂点同士の間隔を40μm以下として粗密を有すると共に、高さ30〜500μm以下でランダムマイクロニードルを形成する、ランダムマイクロニードルの製造方法。

IPC (5件)：

C30B 29/04 ( 200 6.01) ,  C23C 16/27 ( 200 6.01) ,  C23C 16/02 ( 200 6.01) ,  C01B 32/26 ( 201 7.01) ,  H01L 21/205 ( 200 6.01)

FI (5件)：

C30B 29/04 Q ,  C23C 16/27 ,  C23C 16/02 ,  C01B 32/26 ,  H01L 21/205

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 針状表面を有するダイヤモンド、繊毛状表面を有する炭素系材料、その製造方法、それを使用した電極及び電子デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-205935   出願人：株式会社神戸製鋼所
• 先鋭化針状ダイヤモンド、およびそれを用いた走査プローブ顕微鏡用カンチレバー、フォトマスク修正用プローブ、電子線源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-179208   出願人：AGDマテリアル株式会社
• 炭素材料の処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-160632   出願人：並木精密宝石株式会社

審査官引用 (3件)

• 炭素材料の処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-160632   出願人：並木精密宝石株式会社
• 針状表面を有するダイヤモンド、繊毛状表面を有する炭素系材料、その製造方法、それを使用した電極及び電子デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-205935   出願人：株式会社神戸製鋼所
• 先鋭化針状ダイヤモンド、およびそれを用いた走査プローブ顕微鏡用カンチレバー、フォトマスク修正用プローブ、電子線源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-179208   出願人：AGDマテリアル株式会社