針状表面を有するダイヤモンド、繊毛状表面を有する炭素系材料、その製造方法、それを使用した電極及び電子デバイス

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤巻正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-205935
公開番号（公開出願番号）：特開2001-348296
出願日： 2000年07月06日
公開日（公表日）： 2001年12月18日
要約：

【要約】【課題】より簡易な方式でマイクロ波プラズマにより表面を処理することにより針状構造又は繊毛状構造の表面を有するダイヤモンド又は炭素系材料、その製造方法、それを使用した電極及び電子デバイスを提供する。【解決手段】針状表面を有するダイヤモンドは、負の電圧を印加し、基板の温度を-50乃至800°Cに維持し、圧力が66.5乃至665Paの水素ガスによるマイクロ波プラズマにより表面処理されて表面に針状構造が形成されたものである。又は、繊毛状表面を有する炭素系材料は、炭素系素材に負電圧を印加しつつ、基板の温度を-50乃至1000°Cに維持し、圧力が1330Pa以下の水素又は水素を主成分とする混合ガスのプラズマにより表面処理されて表面に繊毛状構造が形成されたものである。

請求項（抜粋）：

負の電圧を印加し、基板の温度を-50乃至800°Cに維持し、圧力が66.5乃至665Paの水素ガスによるマイクロ波プラズマにより表面処理されて表面に針状構造が形成されたものであること特徴とする針状表面を有するダイヤモンド。

IPC (10件)：

C30B 29/04 , C01B 31/02 101 , C01B 31/04 101 , C01B 31/06 , C23C 16/02 , C23C 16/27 , C23C 16/511 , G01N 27/30 , H01M 4/88 , C25D 11/04

FI (10件)：

C30B 29/04 B , C01B 31/02 101 Z , C01B 31/04 101 Z , C01B 31/06 A , C23C 16/02 , C23C 16/27 , C23C 16/511 , G01N 27/30 B , H01M 4/88 C , C25D 11/04 Z

Fターム (39件)：

4G046CA01 , 4G046CA02 , 4G046CB01 , 4G046CB09 , 4G046CC06 , 4G046EA05 , 4G046EB13 , 4G046EC01 , 4G046EC06 , 4G046GA01 , 4G046GB01 , 4G046GB07 , 4G077AA04 , 4G077BA03 , 4G077DB07 , 4G077DB19 , 4G077EB01 , 4G077HA05 , 4K030AA10 , 4K030AA17 , 4K030AA20 , 4K030BA28 , 4K030BB12 , 4K030CA04 , 4K030CA12 , 4K030DA04 , 4K030DA08 , 4K030FA01 , 4K030JA06 , 4K030JA09 , 4K030JA10 , 4K030JA17 , 5H018AA02 , 5H018AS01 , 5H018BB07 , 5H018EE05 , 5H018HH05 , 5H018HH08 , 5H018HH09

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開平1-246116
電子エミッタ素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-176973 出願人：株式会社神戸製鋼所
カ-ボン材料とその製造方法、及びそれを用いた電界放出型冷陰極
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-347955 出願人：日本電気株式会社

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