特許
J-GLOBAL ID:202103002309477000
X線撮像装置及びX線撮像方法
発明者:
,
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
青稜特許業務法人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2020-000085
公開番号(公開出願番号):特開2021-110538
出願日: 2020年01月06日
公開日(公表日): 2021年08月02日
要約:
【課題】X線検出器の時間分解能を高めることなく、時間分解能が高い計測を行うことができる、X線撮像装置を提供する。【解決手段】試料Pに照射されたX線を観測するX線撮像装置であって、複数の波長を含むX線の入射方向に配置された複数の結晶板1a,2a,3aを有した第1の結晶板群と、第1の結晶板群と所定距離x隔てて配置され、第1の結晶板群を構成するそれぞれの結晶板によって複数の波長に分離されたX線が入射される複数の結晶板1b,2b,3bであって、分離されたX線のそれぞれを含むX線群を試料に入射する複数の結晶板を有する第2の結晶板群と、を有した第1の光学系、を備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
試料に照射されたX線を観測するX線撮像装置であって、
複数の波長を含むX線の入射方向に配置された複数の結晶板を有した第1の結晶板群と、
前記第1の結晶板群と所定距離隔てて配置され、前記第1の結晶板群を構成するそれぞれの結晶板によって複数の波長に分離されたX線が入射される複数の結晶板であって、前記分離されたX線のそれぞれを含むX線群を前記試料に入射する前記複数の結晶板を有する第2の結晶板群と、を有した第1の光学系、
を備えることを特徴とするX線撮像装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (14件):
2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001DA06
, 2G001DA09
, 2G001EA01
, 2G001EA08
, 2G001EA09
, 2G001EA20
, 2G001GA01
, 2G001GA03
, 2G001GA04
, 2G001HA13
, 2G001KA12
引用特許: