特許
J-GLOBAL ID：202103002326145959
露光装置及び露光方法、並びにフラットパネルディスプレイ製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-543541
特許番号：特許第6819887号
出願日： 2016年09月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 光学系を介して物体に照明光を照射する露光装置であって、
前記光学系の下方に配置され、前記物体を保持する移動体と、
前記光学系の光軸と直交する所定平面内で互いに直交する第1、第2方向に関して前記移動体を移動可能な駆動系と、
前記第1方向に関して複数の格子領域が互いに離れて配置される格子部材と、前記格子部材に対してそれぞれ計測ビームを照射しかつ前記第2方向に関して移動可能な複数のヘッドとの一方が前記移動体に設けられるとともに、前記格子部材と前記複数のヘッドとの他方が前記移動体と対向するように設けられ、前記第2方向に関する前記複数のヘッドの位置情報を計測する計測装置を有し、前記複数のヘッドのうち、前記計測ビームが前記複数の格子領域の少なくとも1つに照射される少なくとも3つのヘッドの計測情報と、前記計測装置の計測情報と、に基づき、少なくとも前記所定平面内の3自由度方向に関する前記移動体の位置情報を計測する計測系と、
前記計測系で計測される位置情報に基づいて前記駆動系を制御する制御系と、を備え、
前記複数のヘッドはそれぞれ、前記第1方向への前記移動体の移動中、前記計測ビームが前記複数の格子領域の1つから外れるととともに、前記1つの格子領域に隣接する別の格子領域に乗り換え、
前記複数のヘッドは、前記第1方向に関して、前記複数の格子領域のうち隣接する一対の格子領域の間隔よりも広い間隔で前記計測ビームを照射する2つのヘッドと、前記第2方向に関して前記2つのヘッドの少なくとも一方と前記計測ビームの位置が異なる少なくとも1つのヘッドと、を含む露光装置。
IPC (3件)：
G03F 7/20 ( 200 6.01)
, G01B 11/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/68 ( 200 6.01)
G03F 7/20 501
, G01B 11/00 G
, H01L 21/68 F
