特許
J-GLOBAL ID：202103002501430149
測定システム
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (4件)：
西澤 和純
, 伊藤 英輔
, 長谷川 太一
, 鎌田 康一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-180093
公開番号（公開出願番号）：特開2020-051841
特許番号：特許第6804499号
出願日： 2018年09月26日
公開日（公表日）： 2020年04月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】測定光を出射する光源と、
測定部を有する光学装置と、
前記光学装置から出射された出射光を受光し、前記出射光に対応した電気信号を出力する受光器と、
前記電気信号に基づいて前記出射光の波長スペクトルを解析する解析器と、を備える測定システムであって、
前記測定部は、
前記測定光が入射する入射部と、
測定面と、
前記測定面を経由した前記測定光を含む前記出射光を前記受光器へと出射する出射部と、を備え、
前記測定面の表面にはフッ素系材料を含む厚さ0.1〜0.3μmのコーティング層が設けられ、
前記コーティング層は測定対象物に接触し、
前記コーティング層の屈折率は、温度の上昇に伴って増加し、
前記出射光には、前記測定面における前記測定光の全反射時に生じるグースヘンシェンシフトにより位相が変化した光と、当該光とは異なる経路で前記測定部内を伝搬した光と、が含まれる、測定システム。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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