特許

J-GLOBAL ID：202103003942842236

高出力RF MEMSスイッチでの熱管理

発明者： ロベルトゥス・ペトルス・ファン・カンペン ,  リチャード・エル・ナイプ
出願人/特許権者： キャベンディッシュ・キネティックス・インコーポレイテッド
代理人 (3件)： 山田 卓二 ,  中野 晴夫 ,  竹内 三喜夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-525367
特許番号：特許第6858186号
出願日： 2016年11月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】複数の電極を有する基板であって、複数の電極は、少なくともアンカー電極、プルイン電極およびRF電極を備える、基板と、 複数の電極および基板の上に配置された第1絶縁層と、 絶縁層の上に配置されたスイッチング素子であって、スイッチング素子は、アンカー部、レグ部およびブリッジ部を含み、アンカー部は、アンカー電極に電気的に接続されている、スイッチング素子と、 RF電極に接続された第1ポストと、 アンカー電極に電気的に接続された第2ポストであって、スイッチング素子は、第1ポストおよび第2ポストから離隔した第1位置と、第1ポストおよび第2ポストに接触する第2位置との間で移動可能である、第2ポストとを備える、MEMSデバイス。

IPC (3件)：

H01H 59/00 ( 200 6.01) ,  H01H 11/00 ( 200 6.01) ,  B81B 3/00 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01H 59/00 ,  H01H 11/00 V ,  B81B 3/00

引用特許：

出願人引用 (2件)

• MEMS抵抗スイッチおよびMIMキャパシタを利用したDVC
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2016-531923   出願人：キャベンディッシュ・キネティックス・インコーポレイテッド
• 高い線形性を有するMEMS可変デジタルキャパシタデザイン
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2016-506592   出願人：キャベンディッシュ・キネティックス・インコーポレイテッド