特許
J-GLOBAL ID：202103005175367562

静電チャック部材、静電チャック装置

発明者：
釘本 弘訓

釘本 弘訓 について

, 
日▲高▼ 宣浩

日▲高▼ 宣浩 について


出願人/特許権者：
住友大阪セメント株式会社

住友大阪セメント株式会社 について


代理人 (6件)： 西澤 和純 ,  佐藤 彰雄 ,  萩原 綾夏 ,  志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  鈴木 三義
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-229233
公開番号（公開出願番号）：特開2017-188648
特許番号：特許第6828395号
出願日： 2016年11月25日
公開日（公表日）： 2017年10月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 酸化アルミニウムと炭化ケイ素とを主成分とする焼結体からなり、 前記焼結体は、物体に電子を照射した際に表面から放出される二次電子について、二次電子のエネルギーと、前記エネルギーを有する二次電子の数との対応関係における、2eVから10eVの範囲での二次電子数の最大値をピーク値としたとき、前記焼結体に電子を照射した際の二次電子のピーク値が、単結晶コランダムに電子を照射した際の二次電子のピーク値に対して50%以下であり、 室温から130°Cまでの全範囲における体積固有抵抗率が、1×1014Ω・cm以上であり、 アルミニウムおよびケイ素以外の金属不純物含有量が、100ppm以下である静電チャック部材。
IPC (3件)：
H01L 21/683 ( 200 6.01) ,  C04B 35/10 ( 200 6.01) ,  H01L 21/31 ( 200 6.01)
FI (3件)：
H01L 21/68 R ,  C04B 35/10 ,  H01L 21/31 B
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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