特許
J-GLOBAL ID：200903058582010777

静電チャック

発明者：
小坂井 守

小坂井 守 について

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石塚 雅之

石塚 雅之 について

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伊藤 浩之

伊藤 浩之 について

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稲妻地 浩

稲妻地 浩 について


出願人/特許権者：
住友大阪セメント株式会社

住友大阪セメント株式会社 について


代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-085281
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283607
出願日： 1996年04月08日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】 静電チャックの温度上昇時にも、絶縁部の抵抗値が過度に低下することを防止し、ハロゲン系ガスのプラズマに対する静電チャックの耐蝕性を向上させ、かつその強度および耐熱衝撃性をも向上させること。【解決手段】 静電チャック8は、電極3と、電極3の両側にそれぞれ設けられている絶縁部1、2とを備えている。少なくとも吸着面6側の絶縁部1が複合焼結体からなる。この複合焼結体が、酸化アルミニウムおよび炭化珪素粒子を含有しており、炭化珪素粒子同士がムライト質物質を介して接触しており、複合焼結体の室温における体積固有抵抗値が1×108 Ω・cm以上、1×101 5 Ω・cm以下である。好ましくは、複合焼結体中の炭素珪素の含有量が5重量%以上、30重量%以下であり、複合焼結体中のムライト質物質が、炭化珪素粒子の表面に厚さ0.1μm以下の酸化物として存在している。
請求項（抜粋）：
電極と、この電極の両側にそれぞれ設けられている絶縁部とを備えている静電チャックであって、少なくとも吸着面側の前記絶縁部が複合焼結体によって形成されており、この複合焼結体が酸化アルミニウムおよび炭化珪素粒子を含有しており、前記炭化珪素粒子同士がムライト質物質を介して接触しており、この複合焼結体の室温における体積固有抵抗値が1×108 Ω・cm以上、1×101 5 Ω・cm以下であることを特徴とする、静電チャック。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  B23Q 3/15
FI (2件)：
H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D
引用特許：
審査官引用 (7件)
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