特許
J-GLOBAL ID：202103005197863687
スピン材料およびスピン軌道トルク生成効率の制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (4件)：
山川 茂樹
, 小池 勇三
, 山川 政樹
, 本山 泰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-141973
公開番号（公開出願番号）：特開2021-027088
出願日： 2019年08月01日
公開日（公表日）： 2021年02月22日
要約：
【課題】より高効率で、機能的なスピン軌道材料を提供する。【解決手段】スピン材料は、レニウムの酸化物(酸化レニウム)から構成されてスピン軌道トルクを生成する。このスピン材料は、酸化の状態を制御することで、スピン材料のスピン軌道トルク生成効率を制御することができる。例えば、スピン材料の成膜時の温度により、スピン材料の酸化の状態を制御することができる。また、スピン材料の成膜時の成膜レートにより、スピン材料の酸化の状態を制御することができる。スピン材料の成膜は、例えば、酸素を用いた反応性スパッタ法により実施することができる。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
レニウムの酸化物から構成されてスピン軌道トルクを生成するスピン材料。
IPC (4件)：
H01L 29/82
, H01L 43/08
, H01L 21/823
, H01L 27/105
H01L29/82 Z
, H01L43/08 Z
, H01L27/105 447
4M119AA03
, 4M119BB01
, 4M119BB20
, 4M119CC10
, 4M119DD25
, 4M119EE03
, 5F092AA04
, 5F092AB06
, 5F092AC12
, 5F092AC26
, 5F092AD25
, 5F092BC03
, 5F092BD13
