垂直共振器型発光素子レーザモジュール

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人レクスト国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-161794
公開番号（公開出願番号）：特開2018-032654
特許番号：特許第6829562号
出願日： 2016年08月22日
公開日（公表日）： 2018年03月01日
請求項（抜粋）：

【請求項1】複数の垂直共振器型発光素子が平面上に配列された垂直共振器型発光素子モジュールであって、前記垂直共振器型発光素子の各々が、基板上に形成された第1反射器と、前記第1反射器上に積層され、第1の導電型の第1の半導体層、活性層及び前記第1の導電型とは反対の導電型の第2の導電型の第2の半導体層からなる半導体構造層と、絶縁性の電流狭窄層と、前記第2の半導体層に接する透明電極と、前記透明電極上に形成された第2反射器と、を有し、前記基板上の互いに隣接する前記垂直共振器型発光素子からのレーザビーム間の領域に配置され、かつ、前記基板とは反対側に位置する接合用面と前記レーザビームが伝搬するビーム空間を臨む外壁とを有する放熱部材を更に有することを特徴とする垂直共振器型発光素子モジュール。

IPC (3件)：

H01S 5/024 ( 200 6.01) , H01S 5/183 ( 200 6.01) , H01S 5/42 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01S 5/024 , H01S 5/183 , H01S 5/42

引用特許：

出願人引用 (1件)

発光素子アレイ
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-245897 出願人：キヤノン株式会社

審査官引用 (1件)

発光素子アレイ
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-245897 出願人：キヤノン株式会社

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