特許
J-GLOBAL ID：202103005482323378

圧力センサ構成およびその製造方法

発明者：
ラジャラマン,ビジャイ

ラジャラマン,ビジャイ について

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ショルツェン,ホルガー

ショルツェン,ホルガー について

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クラウス,トーマス

クラウス,トーマス について


出願人/特許権者：
ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング

ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング について


代理人 (3件)： 山本 修 ,  中西 基晴 ,  松尾 淳一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-502429
特許番号：特許第6807486号
出願日： 2018年07月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 システムインパッケージとして形成された少なくとも1つの圧力センサ機構(12)を備えた圧力センサ構成(10)であって、 前記圧力センサ機構(12)が、空洞(18)を有する支持構造(16)と、前記空洞(18)内に配置されたセンサ要素(20)とを備えており、 前記支持構造(16)が、ランドグリッドアレイ/モールドプレモールド構造によって形成されており、かつ前記支持構造(16)の中および/または表面に信号処理要素(24)が組み込まれており、 前記圧力センサ機構(12)が、膜(32)を備えた圧力センサハウジング(30)内に取り付けられて、前記圧力センサハウジング(30)内で支持されており、かつ前記圧力センサハウジング(30)内の前記圧力センサ機構(12)以外の残りの部分が、非圧縮性流体(F)で充填されており、 前記圧力センサハウジング(30)が、前記圧力センサ機構(12)を取り囲んでいる溝(34)を有しており、前記溝(34)内にパッキンリング(36)が配置可能である圧力センサ構成(10)において、 前記圧力センサハウジング(30)は、第1のチャンバ(41)、第2のチャンバ(42)、流体充填路(43)を有する中空空間(40)を含むとともに、圧力波が前記圧力センサハウジング(30)の外から前記中空空間(40)内に入射できるような少なくとも1つの膜(32)がその外面に形成され、 前記第1のチャンバ(41)は、前記膜(32)の内側に接しており、 前記第2のチャンバ(42)は、前記圧力センサ機構(12)を収容するために形成され、 前記流体充填路(43)は、前記圧力センサハウジング(30)の前記膜(32)に平行に延び、一方の端部として前記圧力センサハウジング(30)の側方の外面で充填口が開いており、もう一方の端部では前記第1のチャンバ(41)と前記第2のチャンバ(42)の間に前記非圧縮性流体(F)によってつながっているように配置および形成され、 前記流体充填路(43)は封止球(38)によって封止されている、 ことを特徴とする圧力センサ構成(10)。
IPC (2件)：
G01L 19/06 ( 200 6.01) ,  G01L 19/14 ( 200 6.01)
FI (2件)：
G01L 19/06 A ,  G01L 19/14
引用特許：
審査官引用 (4件)
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