特許
J-GLOBAL ID：202103006414698084

物体視野を像視野内に結像するための結像光学ユニット及びそのような結像光学ユニットを含む投影露光装置

発明者：
ヴォルフ アレクサンダー

ヴォルフ アレクサンダー について

, 
ロスタルスキー ハンス ユルゲン

ロスタルスキー ハンス ユルゲン について


出願人/特許権者：
カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー について


代理人 (8件)： 田中 伸一郎 ,  弟子丸 健 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之 ,  近藤 直樹 ,  那須 威夫 ,  鎌田 慎也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-543437
特許番号：特許第6886476号
出願日： 2016年11月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 投影リソグラフィのための結像光学ユニット(7;21;22;23;24)であって、 結像光(3)を結像光ビーム経路に沿って物体平面(5)の物体視野(4)から像平面(9)の像視野(8)内に誘導するための複数のミラー(M1からM8)、を含み、 前記物体視野(4)は、 大きめの第1の物体視野寸法に沿う第1の直交物体視野座標(x)と、 前記第1の物体視野寸法よりも小さい第2の物体視野寸法に沿う第2の直交物体視野座標(y)と、 によって張られ、 前記結像光学ユニット(7;21;22;23;24)が、少なくとも2つのGIミラー(M2,M3,M5,M6)を有し、その上に前記結像光(3)が、60°よりも大きい入射角で入射し、 前記結像光学ユニット(7;21;22;23;24)が、少なくとも1つのNIミラー(M4)を有し、その上に前記結像光(3)が、45°よりも小さい入射角で入射し、該少なくとも1つのNIミラー(M4)は、前記結像光ビーム経路内の2つのGIミラー(M3,M5)間に配置され、 前記NIミラー(M4)の使用反射面が、 第1の反射面座標(x)に沿う面寸法と、前記第2の物体視野寸法と平行な第2の反射面座標(y)に沿う面寸法と、 の間に1よりも大きく4.5よりも小さいアスペクト比(x/y)を有する、 結像光学ユニット(7;21;22;23;24)。
IPC (2件)：
G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  G02B 17/06 ( 200 6.01)
FI (4件)：
G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 521 ,  G02B 17/06
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 縮小オブジェクティブ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-150260   出願人：カール-ツアイス-スチフツング
審査官引用 (1件)
  • 縮小オブジェクティブ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-150260   出願人：カール-ツアイス-スチフツング

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