特許

J-GLOBAL ID：202103006959571162

RFスイッチの脚とアンカーにおける電流取り扱い

発明者： ロベルトゥス・ペトルス・ファン・カンペン ,  リチャード・エル・ナイプ
出願人/特許権者： キャベンディッシュ・キネティックス・インコーポレイテッド
代理人 (2件)： 山田 卓二 ,  中野 晴夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-525394
特許番号：特許第6917370号
出願日： 2016年11月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 MEMSデバイスであって、 内部に複数の電極が形成された基板を備え、上記複数の電極は、少なくとも第1のアンカー電極と、プルダウン電極と、RF電極とを含み、 上記基板及び上記プルダウン電極の上に配置された絶縁層と、 上記RF電極から第1の距離だけ離れるとともに、上記RF電極から上記第1の距離とは異なる第2の距離だけ離れた位置から移動可能なスイッチング素子とを備え、 このスイッチング素子は、 底層、 頂層、および 上記底層を上記頂層に接続する複数の第1のビアを有し、 上記スイッチング素子は、第1のアンカー部分、第1の脚部分、およびブリッジ部分を含み、上記複数の第1のビアは、上記第1のアンカー部分および上記ブリッジ部分内に配置され、上記第1のアンカー部分は上記第1のアンカー電極に結合されており、 上記第1のアンカー電極と上記スイッチング素子との間に配置されたアンカーコンタクトを備え、上記スイッチング素子は、上記底層を上記アンカーコンタクトに接続する少なくとも1つの第2のビアによって形成される第1の電流経路、および上記スイッチング素子の側面に配置された導電層によって形成される第2の電流経路によって上記アンカーコンタクトに電気的に結合されている、MEMSデバイス。

IPC (2件)：

H01H 59/00 ( 200 6.01) ,  B81B 3/00 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01H 59/00 ,  B81B 3/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• マイクロ電気機械式可変コンデンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-189588   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
• MEMSデバイス・アンカリング
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2014-528634   出願人：キャベンディッシュ・キネティックス・インコーポレイテッド