特許
J-GLOBAL ID:202103007284171786

電気セラミック構成素子、とりわけ多層圧電アクチュエータ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  前川 純一 ,  二宮 浩康 ,  上島 類
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-516115
特許番号:特許第6906506号
出願日: 2016年07月14日
請求項(抜粋):
【請求項1】 構成素子(1)であって、 セラミックマトリックス(5)と、 前記セラミックマトリックス(5)内に配置されており、第1の表面(7)において露出されている少なくとも1つの内部電極(2)と、 前記内部電極(2)に電気的に接続されている少なくとも1つの導電性の集電コンタクト部(8)と、 前記セラミックマトリックス(5)の表面上に設けられた絶縁層(15)であって、前記セラミックマトリックス(5)と前記集電コンタクト部(8)との間に配置されており、かつ前記内部電極(2)の少なくとも一部を露出させる少なくとも1つの開口部(16)を有する、絶縁層(15)と、 前記内部電極(2)と前記集電コンタクト部(8)との間、および前記絶縁層(15)と前記集電コンタクト部(8)との間に配置されている導電性の別の層(19)と を有する、構成素子(1)において、 前記別の層(19)は、少なくとも2つの層(30A,30B)を有するマルチレイヤ層(30)として形成されており、 前記マルチレイヤ層(30)は、第1の層(30A)として、前記集電コンタクト部(8)に隣接する電流収集層を含み、第2の層(30B)として、前記絶縁層(15)、前記セラミックマトリックス(5)および前記内部電極(2)に隣接する拡散遮断層を含み、 前記集電コンタクト部(8)に隣接する前記電流収集層(30A)は、銀-パラジウム合金から形成され、前記集電コンタクト部(8)への接着を提供し、 前記拡散遮断層(30B)は、チタンを含む接着媒体層であり、かつ、前記セラミックマトリックス(5)への拡散遮断を提供する、 ことを特徴とする、構成素子(1)。
IPC (6件):
H01L 41/083 ( 200 6.01) ,  H01L 41/047 ( 200 6.01) ,  H01L 41/09 ( 200 6.01) ,  H01L 41/113 ( 200 6.01) ,  H01L 41/187 ( 200 6.01) ,  H01L 41/29 ( 201 3.01)
FI (6件):
H01L 41/083 ,  H01L 41/047 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/113 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/29
引用特許:
審査官引用 (1件)

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