特許
J-GLOBAL ID：201103034837405381
気相堆積層を有する外部電極を備えた圧電コンポーネント及び該コンポーネントの製造方法及び適用方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
矢野 敏雄
, 久野 琢也
, 杉本 博司
, 高橋 佳大
, 星 公弘
, 二宮 浩康
, アインゼル・フェリックス=ラインハルト
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-536396
公開番号（公開出願番号）：特表2011-507221
出願日： 2008年11月13日
公開日（公表日）： 2011年03月03日
要約：
本発明は複数の電極層(12,13)とこれらの複数の電極間に配設される圧電層(14)とからなる少なくとも1つのフルアクティブな圧電素子を備えた圧電コンポーネント(1)に関している。前記複数の電極層は圧電素子の側方縁部まで導かれ、そこでコンタクト形成されている。この電気的なコンタクト形成のために絶縁層(19)が被着されており、該絶縁層は電気的な貫通コンタクト(17)を有している。電気的なコンタクト形成の改善のために圧電素子の側面まで延在する電極層に、気相成長法を用いて導電性の気相堆積層(170)が直接被着される。気相堆積層には外部電極(21,22)が設けられる。上下方向に複数積層されている圧電素子(スタック型多層圧電アクチュエータ)の場合には、外部電極が、複数の電極層を相互に接続するコレクタ電極として機能する。本発明の構造によれば、複数の電極層の確実なコンタクト形成が可能になる。このようなフルアクティブな多層圧電アクチュエータは自動車の燃料噴射弁の駆動制御に用いられる。
請求項（抜粋）：
少なくとも1つのスタック型圧電素子(10)を備える圧電コンポーネント(1)において、
前記スタック型圧電素子(10)は、
電極材料からなる少なくとも1つの電極層(12)と、
さらなる電極材料からなる少なくとも1つのさらなる電極層(13)と、
前記複数の電極層(12,13)の間に配置された圧電材料からなる少なくとも1つの圧電層(14)とを、積層方向(11)において有しており、
前記電極層(13)が、前記圧電素子(10)の少なくとも1つの側方表面区分(15)まで延在しており、
前記側方表面区分(15)には、電気的な絶縁層(19)が被着されており、
前記絶縁層(19)における電極層の電気的なコンタクト形成のために少なくとも1つの電気的な貫通コンタクト(17)が設けられており、さらに、
前記電気的な貫通コンタクト(17)は、前記電極層に直接被着される導電性の少なくとも1つの気相堆積層(170)を有していることを特徴とする圧電コンポーネント。
IPC (4件)：
H01L 41/083
, H01L 41/22
, H01L 41/187
, F02M 51/06
H01L41/08 Q
, H01L41/22 Z
, H01L41/18 101D
, F02M51/06 N
3G066BA46
, 3G066BA53
, 3G066CC05U
, 3G066CE27
審査官引用 (6件)
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積層型圧電素子
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-418440
出願人：イビデン株式会社
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圧電アクチュエータ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2007-070205
出願人：デルファイ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド
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積層型圧電電歪装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-106063
出願人：本田技研工業株式会社
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