特許
J-GLOBAL ID:202103007493723664
ガスセンサ素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人栄光特許事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-561359
特許番号:特許第6810057号
出願日: 2016年05月25日
請求項(抜粋):
【請求項1】第1のガス及び第2のガスを検出するセンサ素子であって、
前記第1のガスおよび前記第2のガスの存在に対して有感である電気伝導性を有する半導体検知材料と、
前記第1のガスの動的分子径よりも大きくかつ前記第2のガスの動的分子径の1.5倍よりも小さい細孔直径を有する細孔を含有する多孔質材料と、
を含み、
前記センサ素子が、前記多孔質材料が前記第2のガスよりも前記第1のガスの多くを吸着するように構成され、その結果、前記センサ素子による前記第2のガスの検出が、前記センサ素子による前記第1のガスの検出と比較してより有感であり、
前記第1のガスがアセトン、エタノール、メタン、H2Oのいずれかであり、
前記第2のガスがイソプレンであり、
前記多孔質材料がゼオライトを含み、
前記半導体検知材料が、重量で約0.01%から10%のホウ素をドープされた多結晶性n型半導体材料を含み、
前記多結晶性n型半導体材料がWO3を含む、
センサ素子。
IPC (2件):
G01N 27/12 ( 200 6.01)
, G01N 33/497 ( 200 6.01)
FI (4件):
G01N 27/12 C
, G01N 27/12 B
, G01N 33/497 A
, G01N 33/497 C
引用特許:
引用文献:
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