特許
J-GLOBAL ID：202103007577951786
ビーム位置センサを有する走査ヘッドおよび調整装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田・鈴木国際特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-566141
特許番号：特許第6821606号
出願日： 2016年06月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 レーザ材料加工用の走査ヘッド(2)を含む走査ヘッド(2)のオフライン調整のための調整装置(1)であって、
前記レーザ材料加工用の走査ヘッド(2)は、
レーザビーム(9)を加工位置(12)に集束させる集束光学系(15)と、
レーザビーム(9)の伝播方向において前記集束光学系(15)の上流に配置され、前記レーザビーム(9)の位置を制御するビーム位置決めシステム(3)と、
前記レーザビーム(9)の伝播方向において前記ビーム位置決めシステム(3)の下流に配置されたビーム位置センサ(4)とを有し、
前記ビーム位置決めシステム(3)は、加工面(13)への前記レーザビーム(9)の入射角を調整可能であり、前記レーザビーム(9)の前記加工面(13)における加工位置(12)を前記加工面(13)内で2次元移動可能に構成された少なくとも2つの制御可能な可動光学素子を備え、
前記調整装置(1)は、前記走査ヘッド(2)の前記ビーム位置センサ(4)および制御ユニット(7)に接続される演算ユニット(5)を備え、
前記ビーム位置センサ(4)は、前記レーザビーム(9)の少なくとも4つの独立した位置パラメータを検出し、および/または、前記位置パラメータから前記レーザビーム(9)の実位置(19)を検出することを特徴とする調整装置(1)。
IPC (5件)：
B23K 26/064 ( 201 4.01)
, B23K 26/00 ( 201 4.01)
, B23K 26/082 ( 201 4.01)
, B23K 26/046 ( 201 4.01)
, G02B 26/10 ( 200 6.01)
B23K 26/064 A
, B23K 26/00 M
, B23K 26/082
, B23K 26/046
, G02B 26/10 104 Z
