特許
J-GLOBAL ID：202103008649964841
薬液の精製方法、及び、薬液
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
伊東 秀明
, 三橋 史生
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-539590
特許番号：特許第6949125号
出願日： 2018年08月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 有機溶剤を含有する被精製物を精製して薬液を得る、薬液の精製方法であって、
前記薬液が、プリウェット液、現像液、リンス液、剥離液、CMPスラリー、CMP後の洗浄液、レジスト膜形成用組成物用溶剤、フィルタの洗浄液、及び、容器又は配管の洗浄液からなる群より選択される、半導体デバイス製造用の薬液であり、
前記有機溶剤が、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、γ-ブチロラクトン、ジイソアミルエーテル、酢酸ブチル、酢酸イソアミル、イソプロパノール、4-メチル-2-ペンタノール、ジメチルスルホキシド、n-メチル-2-ピロリドン、ジエチレングリコール、エチレングリコール、ジプロピレングリコール、プロピレングリコール、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、スルフォラン、シクロヘプタノン、及び、2-ヘプタノンからなる群から選択される少なくとも1種であり、
前記被精製物が、安定化剤、並びに、Fe、Cr、Pb、及び、Niからなる群から選択される少なくとも1種の金属イオンを更に含有し、
前記安定化剤が、以下の式(1)で表される化合物、式(2)で表される化合物、及び、2-メチル-2-ブテンからなる群から選択される少なくとも1種であり、
式(1)中、nは1又は2を表し、
nが1の場合、L1は水素原子、ヒドロキシル基、又は、炭素数1〜6のアルキル基を表し、mは2を表し、R1は水素原子を表し、R2は水素原子、又は、炭素数1〜10のアルキル基を表し、複数あるR2は同一でも異なってもよく、
nが2の場合、L1は、炭素数1〜8の2価の脂肪族炭化水素基、又は、-S-を表し、mは2を表し、R1は水素原子を表し、R2はメチル基、エチル基、t-ブチル基、又は、1-メチルシクロヘキシル基を表し、複数あるR2は同一でも異なってもよく、
式(2)中、L3は炭素数1〜8の2価の脂肪族炭化水素基を表し、R3は炭素数が5〜20のアルキル基を表し、複数あるL3及びR3は同一でも異なってもよく、
前記被精製物中における前記安定化剤の含有量が、前記被精製物の全質量に対して0.1質量ppm以上、100質量ppm未満であり、
前記被精製物が、1種の前記金属イオンを含有する場合、前記金属イオンの含有量が、前記被精製物の全質量に対して1.0質量ppt以上であり、
前記被精製物が、2種以上の前記金属イオンを含有する場合、前記金属イオンのそれぞれの含有量が、前記被精製物の全質量に対して1.0質量ppt以上であり、
前記被精製物を精製する方法が、イオン吸着、イオン交換、及び、ろ過からなる群から選択される少なくとも1種である、薬液の精製方法。
IPC (7件)：
G03F 7/004 ( 200 6.01)
, C11D 17/08 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
, C11D 7/50 ( 200 6.01)
, G03F 7/32 ( 200 6.01)
, G03F 7/16 ( 200 6.01)
, G03F 7/039 ( 200 6.01)
G03F 7/004 501
, C11D 17/08
, H01L 21/304 647 A
, H01L 21/304 647 Z
, C11D 7/50
, G03F 7/32
, G03F 7/32 501
, G03F 7/16
, G03F 7/039 601
