特許
J-GLOBAL ID:202103009331770831

精密スラリ内の大きい不純物粒子のホログラフィック検出及び特徴付け

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (10件): 田中 伸一郎 ,  弟子丸 健 ,  ▲吉▼田 和彦 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之 ,  上杉 浩 ,  近藤 直樹 ,  那須 威夫 ,  鎌田 慎也
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-514278
特許番号:特許第6929560号
出願日: 2016年09月15日
請求項(抜粋):
【請求項1】スラリの試料内の不純物を特徴付ける方法であって、 前記スラリをホログラフィック顕微鏡の観察容積を通して流す段階と、 1回目の前記観察容積内の前記試料のホログラフィックビデオ顕微鏡法に基づいて前記スラリの前記試料の第1のホログラフィック画像を発生させる段階と、 関心粒子に対応する1又は2以上の関心領域に関して前記第1のホログラフィック画像を解析する段階であって、前記観察容積の深さは前記試料におけるレーザの減衰深さよりも小さい、段階と、 前記試料との光の相互作用によって生成された拡散波の寄与に関して前記関心領域を正規化する段階と、 前記正規化された関心領域を光散乱理論に当て嵌める段階と、 関心粒子の1又は2以上の特質を特徴付ける段階と、 を含む、方法。
IPC (4件):
G01N 15/14 ( 200 6.01) ,  G01N 21/47 ( 200 6.01) ,  G01N 21/53 ( 200 6.01) ,  G03H 1/00 ( 200 6.01)
FI (4件):
G01N 15/14 P ,  G01N 21/47 B ,  G01N 21/53 Z ,  G03H 1/00
引用特許:
審査官引用 (3件)
引用文献:
審査官引用 (2件)
  • Machine-lerning approach to holographic particle characterization
  • Characterizing and tracking sigle colloidal particles with video holographic microscopy

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