特許
J-GLOBAL ID：202103009508732994
検査システムの調整方法およびそれに用いる補助エレメント
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高山 宏志
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-176149
公開番号（公開出願番号）：特開2018-041884
特許番号：特許第6832654号
出願日： 2016年09月09日
公開日（公表日）： 2018年03月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被検査体を検査する複数の検査モジュールと、前記複数の検査モジュールに被検査体を搬送する搬送モジュールとを組み立てて構成され、被検査体を前記搬送モジュールにより前記各検査モジュールに搬送して複数の被検査体について順次検査を行う検査システムにおいて、前記検査システムを出荷する前に所定の調整を行う検査システムの調整方法であって、
前記検査モジュールと前記搬送モジュールを組み立てて前記検査システムを構成してから調整を行う必要がある調整項目について、
前記検査モジュールの所定の機能、または前記搬送モジュールの所定の機能を有する補助エレメントを、前記搬送モジュールまたは前記検査モジュールに接続することにより、前記搬送モジュールを単体で、または前記複数の検査モジュールを単体ごと、もしくは前記複数の検査モジュールをシステムとして調整することを特徴とする検査システムの調整方法。
IPC (2件)：
H01L 21/66 ( 200 6.01)
, G01R 31/26 ( 202 0.01)
H01L 21/66 B
, G01R 31/26 Z
, H01L 21/66 Z
