特許
J-GLOBAL ID：202103009546996466
試験室又は被検査物の真空引き時における漏れ検知
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
辻田 朋子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-513863
特許番号：特許第6830481号
出願日： 2016年09月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 試験室内に含まれる被検査物の漏れを検知する方法であって、
前記試験室内に前記被検査物を配置する工程と、
前記試験室を真空引きする工程と、
前記試験室を真空引きする間に、計測信号Mとして前記試験室内のガスの分圧を計測する工程と、
時間tにおける前記計測信号M(t)の前記推移及びnは正の有理数である前記項t-nを含み、試験室又は被検査物の壁からの拡散物及び/又は脱離物から生じるガスの、前記計測信号M(t)内における割合を表す近似関数F(t)から差分信号Dを形成する工程と、
前記差分信号Dに基づいて前記被検査物の漏れの有無を判断する工程と、を備える方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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