ウエハの表面の曲率決定システム

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-533719
公開番号（公開出願番号）：特表2021-507240
出願日： 2018年12月20日
公開日（公表日）： 2021年02月22日
要約：

ウエハ(2)の表面(20)の曲率(200)をインサイチュで測定するためのシステム(1)であって、前記システム(1)は、複数の波長(301;302;303)を含む入射光(3)を放射するように適合された、多波長光源モジュール(101)と; 前記入射光(3)を単一ビーム(5)に統合し、前記単一ビーム(5)が前記表面(20)上の単一測定スポット(202)で前記表面(20)に当たるように、前記単一ビーム(5)をウエハ(2)の表面(20)に向けてガイドするように構成された光学装置(104)と; 前記単一測定スポット(202)の前記表面(20)上で反射される前記単一ビーム(5)に対応する反射光(4)から、前記ウエハ(2)の前記表面(20)の曲率(200)を決定するように構成された曲率決定部(103)と、を含んでいる、システム(1)。

請求項（抜粋）：

ウエハ(2)の表面(20)の曲率(200)をインサイチュで測定するためのシステム(1)であって、前記システム(1)は、複数の波長(301;302;303)を含んでいる入射光(3)を放射するように適合された、多波長光源モジュール(101)と; 前記入射光(3)を単一ビーム(5)に統合するように構成され、さらに、前記単一ビーム(5)が前記表面(20)上において単一測定スポット(202)で前記表面(20)に当たるように、前記単一ビーム(5)をウエハ(2)の表面(20)に向けてガイドするように構成された光学装置(104)と; 前記単一測定スポット(202)で前記表面(20)上において反射されている前記単一ビーム(5)に対応する反射光(4)から、前記ウエハ(2)の前記表面(20)の曲率(200)を決定するように構成された曲率決定部(103)と;を含んでいる、システム(1)。

IPC (2件)：

G01B 11/24 , H01L 21/66

FI (2件)：

G01B11/24 M , H01L21/66 L

Fターム (24件)：

2F065AA03 , 2F065AA46 , 2F065BB16 , 2F065CC19 , 2F065DD02 , 2F065DD03 , 2F065FF43 , 2F065GG23 , 2F065HH04 , 2F065JJ03 , 2F065MM04 , 2F065PP22 , 2F065QQ03 , 2F065QQ17 , 2F065QQ21 , 2F065QQ28 , 2F065QQ31 , 2F065QQ41 , 4M106AA01 , 4M106BA05 , 4M106CA47 , 4M106DH12 , 4M106DH32 , 4M106DJ06

引用特許：

審査官引用 (1件)

複数個の波長を使用して薄膜内の応力を測定するレ-ザ装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-203006 出願人：フレクサスインコーポレイテッド

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