計測装置、光学機器の製造方法および光学機器の製造装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：藤元亮輔 , 水本敦也 , 平山倫也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-172475
公開番号（公開出願番号）：特開2018-040570
特許番号：特許第6821361号
出願日： 2016年09月05日
公開日（公表日）： 2018年03月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被検面の形状または透過波面を計測する計測装置であって、光源からの光を、照明光として前記被検面に照射する光学系と、前記被検面からの反射光または透過光を検出するセンサと、を有し、前記光学系は、前記光源側から順に配置された、正の屈折力を有する前群と、正の屈折力を有する後群と、から構成され、短焦点距離から長焦点距離への変倍に際して、前記前群は前記光源側に移動し、前記後群は光軸方向の位置が固定され、前記前群の焦点距離をf1、前記後群の焦点距離をf2とするとき、 1<f1/f2<10 なる条件式を満足することを特徴とする計測装置。

IPC (3件)：