特許
J-GLOBAL ID：202103011908299488
光照射装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
特許業務法人弥生特許事務所
, 井上 俊夫
, 三井田 友昭
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-240857
公開番号（公開出願番号）：特開2018-097127
特許番号：特許第6809188号
出願日： 2016年12月13日
公開日（公表日）： 2018年06月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 光により処理される基板を載置するための載置部と、
1個または互いに直列に接続された複数個のLEDからなるLEDブロックの複数が左右方向に直線状に配列され、左右方向に伸びる帯状の照射領域を形成するための光照射ユニットと、
前記載置部と光照射ユニットとを前後方向に互いに相対的に移動させるための移動機構と、
前記照射領域の照度を測定する照度測定部と、
前記LEDをオンの状態にした後、少なくともLEDの光量が安定するまでの間、照度の目標値と前記照度測定部にて測定された照度測定値との偏差分に基づいてLEDの電流を制御するための電流制御部と、を備え、
前記電流制御部は、照度の目標値と照度測定値との偏差分を演算する第1の演算部と、前記第1の演算部から出力される出力値とLEDに供給される電流に対応する信号との偏差分を演算する第2の演算部と、を備え、前記第2の演算部の出力値に対応する電流がLEDに供給されるように構成されることを特徴とする光処理装置。
IPC (2件)：
G03F 7/20 ( 200 6.01)
, H01L 33/00 ( 201 0.01)
G03F 7/20 501
, H01L 33/00 L
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (7件)
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