ガス測定器及びガス測定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：長谷川芳樹 , 黒木義樹 , 大森鉄平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-038060
公開番号（公開出願番号）：特開2021-139766
出願日： 2020年03月05日
公開日（公表日）： 2021年09月16日
要約：

【課題】簡易な構成で複数の種類のガスを検出できるガス測定器及びガス測定方法を提供する。【解決手段】ガス測定器は、ガスが通過可能な間隙を有するように互いに離間して配置され、且つ電圧もしくは電流を印加する電源がそれぞれに接続された複数の電極と、電極間を通過したガス分子を検出するガスセンサと、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ガスが通過可能な間隙を有するように互いに離間して配置され、且つ電圧もしくは電流を印加する電源がそれぞれに接続された複数の電極と、前記電極間を通過したガス分子を検出するガスセンサと、を備える、ガス測定器。

IPC (2件)：

G01N 27/416 , G01N 27/00

FI (5件)：

G01N27/416 361Z , G01N27/00 K , G01N27/416 311G , G01N27/416 341G , G01N27/416 356

Fターム (6件)：

2G060AA01 , 2G060AB08 , 2G060AE19 , 2G060BB13 , 2G060HC10 , 2G060KA01

引用特許：

出願人引用 (4件)

小型質量フィルタ
公報種別：公表公報出願番号：特願平8-512586 出願人：ノースロップグルマンコーポレーション
質量分析装置及び質量分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-200856 出願人：株式会社日立製作所
ガスセンサー
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-564580 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング

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審査官引用 (4件)

小型質量フィルタ
公報種別：公表公報出願番号：特願平8-512586 出願人：ノースロップグルマンコーポレーション
質量分析装置及び質量分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-200856 出願人：株式会社日立製作所
ガスセンサー
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-564580 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング

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