特許
J-GLOBAL ID：202103012593055107
インプリント装置および物品製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
大塚 康徳
, 大塚 康弘
, 高柳 司郎
, 木村 秀二
, 下山 治
, 永川 行光
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-225377
公開番号（公開出願番号）：特開2018-082128
特許番号：特許第6802691号
出願日： 2016年11月18日
公開日（公表日）： 2018年05月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板の上のインプリント材に型を接触させて該インプリント材を硬化させることによって該基板の上にパターンを形成するインプリント装置であって、
基板を保持する基板保持部と、
型を保持する型保持部と、
前記型保持部の周辺に配置された型周辺部材と、
前記基板保持部と前記型周辺部材との間に電圧を供給する電源と、を備え、
前記基板保持部は、基板を吸着する基板吸着部と、前記基板吸着部の周辺に配置された基板周辺部とを含み、
前記インプリント装置は、前記基板保持部をクリーニングする第1モードと、前記型周辺部材をクリーニングする第2モードとを有し、
前記第1モードにおいて前記電源が前記型周辺部材と前記基板保持部との間に供給する電圧の極性と、前記第2モードにおいて前記電源が前記型周辺部材と前記基板保持部との間に供給する電圧の極性とが反対である、
ことを特徴とするインプリント装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
, B29C 59/02 ( 200 6.01)
H01L 21/30 502 D
, H01L 21/304 646
, B29C 59/02 Z
