特許
J-GLOBAL ID:202103012719258483

検査装置及び検査対象物の撮像制御方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 山本 晃司 ,  岸本 達人
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-194458
公開番号(公開出願番号):特開2018-054577
特許番号:特許第6796323号
出願日: 2016年09月30日
公開日(公表日): 2018年04月05日
請求項(抜粋):
【請求項1】 所定の搬送経路に沿って検査対象物を搬送する搬送手段と、前記搬送経路上に設定された検査区間を移動する検査対象物の検査対象領域を2次元固体撮像素子を用いて撮像可能な撮像手段とを備え、前記撮像手段が撮像した画像に基づいて前記検査対象物を検査する検査装置であって、 前記搬送経路上における前記検査対象物の位置に相関する信号を出力する位置信号出力手段と、 前記2次元固体撮像素子の撮像面の一部に撮像領域を設定し、当該撮像領域に含まれる画素に限定して画像信号が読み出されるように前記撮像手段の撮像動作を制御する撮像制御手段と、 前記位置信号出力手段の出力信号に基づいて、前記撮像領域に前記検査対象領域の像が位置するように前記撮像制御手段が設定すべき撮像領域の位置を判別する撮像領域判別手段と、を具備し、 前記撮像制御手段は、前記検査区間内を前記検査対象物が移動する間に前記撮像領域判別手段から前記撮像領域の位置を複数回繰り返し取得し、各回の判別結果に従って前記撮像領域を繰り返し設定することにより、前記検査対象物の移動に追従するように前記撮像領域の位置を変化させつつ前記撮像動作の制御を繰り返す検査装置。
IPC (2件):
G01N 21/88 ( 200 6.01) ,  G01N 21/90 ( 200 6.01)
FI (2件):
G01N 21/88 J ,  G01N 21/90 A
引用特許:
出願人引用 (6件)
  • 特開平1-145555
  • 検査装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2008-117530   出願人:株式会社ニコン
  • 撮像装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2008-050366   出願人:東洋インスペクションズ株式会社, 東洋インキ製造株式会社
全件表示
審査官引用 (6件)
  • 特開平1-145555
  • 検査装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2008-117530   出願人:株式会社ニコン
  • 撮像装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2008-050366   出願人:東洋インスペクションズ株式会社, 東洋インキ製造株式会社
全件表示

前のページに戻る