特許
J-GLOBAL ID：202103012779673897
研削砥石のドレッシング方法
出願人/特許権者：
株式会社ディスコ
株式会社ディスコ について
代理人 (1件)： 特許業務法人東京アルパ特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-197163
公開番号（公開出願番号）：特開2018-058160
特許番号：特許第6803187号
出願日： 2016年10月05日
公開日（公表日）： 2018年04月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ウエーハを保持する保持面を有する保持テーブルと、研削砥石が環状に配設され回転可能な研削ホイールを用いて該保持テーブルの該保持面に保持されたウエーハを研削する研削手段と、該研削手段を該保持面に対して垂直方向に研削送りする研削送り手段と、該保持テーブルの該保持面の高さを測定するハイトゲージと、該保持テーブルに併設され上面に基準面を備え上下動可能な基準テーブルと、該基準テーブルが一定距離下降したことを検出する検出部と、演算機能を有する算出手段と、該算出手段が用いる値又は該算出手段により算出された値を記憶する記憶手段とを備える研削装置を用いた研削砥石のドレッシング方法であって、
該保持テーブルの該保持面に板状のドレッシング砥石を保持させるドレッシング砥石保持工程と、
該ハイトゲージが測定した該基準面の高さと該ハイトゲージが測定した該保持面の高さとの差(ΔH)を算出するテーブル高さ差算出工程と、
該研削送り手段が該研削手段を研削送りし該研削砥石の研削面が該基準テーブルを押し下げることにより該基準テーブルが一定距離下降したことを該検出部が検出した時の該研削送り手段が認識する該研削手段の高さ位置(Z1)を該記憶手段に記憶する第1の研削手段高さ記憶工程と、
該第1の研削手段高さ記憶工程で記憶した該研削手段の高さ位置(Z1)と、該テーブル高さ差算出工程で算出した該ハイトゲージが測定した該保持面の高さと該ハイトゲージが測定した該基準面の高さとの差(ΔH)と、該基準テーブルが上限位置から一定距離下降したことを該検出部が検出した時の該一定距離(ΔZ)とを用いて、該研削面が該保持面に接触した時に該研削送り手段が認識する該研削手段の高さ位置Z2を
Z2=Z1-(ΔH-ΔZ)
の式により算出して記憶する第2の研削手段高さ記憶工程と、
該第2の研削手段高さ記憶工程で記憶した該研削手段の高さ位置にあらかじめ記憶した該ドレッシング砥石の厚みを加算して該ドレッシング砥石の上面に該研削面が接触する時の該研削送り手段が認識する該研削手段の高さ位置を算出するドレッシング開始高さ算出工程と、
該ドレッシング開始高さ算出工程で算出した該研削送り手段が認識する該研削手段の高さから研削送りして該保持テーブルが保持する該ドレッシング砥石によって該研削面のドレッシングを行うドレッシング工程と、
を備え、
該保持テーブルが保持した該ドレッシング砥石で該研削砥石の研削面をドレッシングする研削砥石のドレッシング方法。
IPC (3件)：
FI (3件)：
引用特許：
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