特許
J-GLOBAL ID：202103013061311144
検出素子及び検出器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人扶桑国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-114464
公開番号（公開出願番号）：特開2017-220580
特許番号：特許第6849900号
出願日： 2016年06月08日
公開日（公表日）： 2017年12月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1電極層と、前記第1電極層の第1領域に設けられた第1活性層と、前記第1活性層の前記第1電極層とは反対の側に設けられた第2電極層と、前記第2電極層の前記第1活性層とは反対の側に設けられた第2活性層と、前記第2活性層の前記第2電極層とは反対の側に設けられた第3電極層とを含む積層体と、
前記積層体の積層方向の前記第3電極層側の表面と前記積層方向に沿った表面である側面とに設けられ、前記積層体の側面における前記第2電極層の側面に通じる開口部を有する絶縁膜と、
前記絶縁膜の前記開口部内に設けられ、前記第2電極層の側面に接続され、金属が用いられた第1導体部と、
前記第1導体部に接続され、前記絶縁膜を介して前記積層体の側面における前記第2活性層及び前記第3電極層の側面に沿って前記第3電極層の前記第2活性層とは反対の側に延在する第2導体部と
を含み、
前記第1活性層と前記第2活性層との前記積層方向から見た平面視での寸法が同一であるか、又は、
前記第1活性層と前記第2活性層との前記積層方向から見た平面視での寸法差が、前記積層体の側面に設けられる前記絶縁膜と、前記積層体の側面に前記絶縁膜を介して設けられる前記第2導体部との合計厚さであることを特徴とする検出素子。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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