特許
J-GLOBAL ID：202103013142793097
エラー判定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-115799
公開番号（公開出願番号）：特開2017-220133
特許番号：特許第6789680号
出願日： 2016年06月10日
公開日（公表日）： 2017年12月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】半導体集積回路の製造に用いるマスクパターンのレイアウトデータがデザインルールファイルに記述されているデザインルールに適合しているか否かを検証するデザインルール検証装置により実行される、第1縦直線と第1横直線に連続する内側円弧と、第2縦直線と第2横直線に連続し且つ前記内側円弧の外側に前記内側円弧と同心的に配置されるべき外側円弧とを含むパターンのエラー判定方法において、
前記デザインルール検証装置が、
前記内側円弧が前記第1縦直線に連続する一端P1を認識するとともに前記内側円弧が前記第1横直線に連続する他端P2を認識して前記内側円弧の中心点P3を認識し、
前記外側円弧が前記第2縦直線に連続する一端P4を認識するとともに前記外側円弧が前記第2横直線に連続する他端P5を認識して前記外側円弧の中心点P6を認識し、
前記内側円弧の中心点P3と前記外側円弧の中心点P6のズレが所定の許容値以内であるとき、前記パターンはエラー無しと判定することを特徴とするエラー判定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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