特許
J-GLOBAL ID:201203045664877214

レイアウト検証装置及びレイアウト検証方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人創成国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-089025
公開番号(公開出願番号):特開2012-221398
出願日: 2011年04月13日
公開日(公表日): 2012年11月12日
要約:
【課題】汎用性が高く、効率的に検証処理を行うことができるレイアウト検証技術を提供する。【解決手段】レイアウトデータがデザインルールに反するか否かの検証を行うに際し、所定の設計値に基づき、レイアウトデータ(1)を、擬似エラー領域内のものとそれ以外のものとに区分し、通常のデザインルール(4)からの許容範囲内のものとして擬似エラー領域用のデザインルール(13)を作成し、擬似エラー領域外のレイアウトデータについては通常のデザインルールで検証を行い、擬似エラー領域内のレイアウトデータについては擬似エラー領域用のデザインルールで検証を行う。【選択図】図1
請求項(抜粋):
レイアウトデータがデザインルールに反するか否かの検証を行うレイアウト検証装置であって、 通常の第1デザインルールとは異なる第2デザインルールが適用される擬似エラー領域を特定するために用意された設計値に基づき、レイアウトデータを、該擬似エラー領域内のレイアウトデータと該擬似エラー領域外のレイアウトデータとに区分するデータ区分手段と、 前記第2デザインルールを特定するために定められた前記第1デザインルールからの許容範囲に基づき、該第2デザインルールを該許容範囲内のものとして作成するルール作成手段と、 前記擬似エラー領域外のレイアウトデータが前記第1デザインルールに反するか否かを検証し、前記擬似エラー領域内のレイアウトデータが前記第2デザインルールに反するか否かを検証する検証手段とを具備することを特徴とするレイアウト検証装置。
IPC (2件):
G06F 17/50 ,  H01L 21/82
FI (4件):
G06F17/50 666C ,  G06F17/50 672A ,  H01L21/82 T ,  H01L21/82 C
Fターム (11件):
5B046AA08 ,  5B046BA04 ,  5B046JA02 ,  5B046KA05 ,  5F064CC01 ,  5F064DD04 ,  5F064HH06 ,  5F064HH10 ,  5F064HH12 ,  5F064HH15 ,  5F064HH17
引用特許:
審査官引用 (5件)
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