特許
J-GLOBAL ID：202103013419435258
固体撮像素子およびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
廣瀬 一
, 宮坂 徹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-253556
公開番号（公開出願番号）：特開2018-107324
特許番号：特許第6838394号
出願日： 2016年12月27日
公開日（公表日）： 2018年07月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数の光電変換素子を二次元的に配置した半導体基板と、
上記半導体基板上に形成され、各光電変換素子に対応させて複数色の色フィルターを予め設定した規則パターンで二次元的に配置した色フィルター層と、
上記複数色から選択した第1の色の色フィルターと半導体基板との間のみに配置された下層平坦化層と、を備え、
上記第1の色の色フィルターの膜厚をA[nm]、上記下層平坦化層の膜厚をB[nm]、上記第1の色以外の色の色フィルターの膜厚をC[nm]とした場合に、下記(1)〜(3)式を満足することを特徴とする固体撮像素子。
200[nm]≦A≦700[nm] ・・・(1)
0[nm]<B≦200[nm] ・・・(2)
A+B-200[nm]≦C≦A+B+200[nm] ・・・(3)
IPC (3件)：
H01L 27/146 ( 200 6.01)
, G02B 5/20 ( 200 6.01)
, H04N 9/07 ( 200 6.01)
H01L 27/146 D
, G02B 5/20 101
, H04N 9/07 A
