固体撮像素子及びその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-126929
公開番号（公開出願番号）：特開2004-335598
出願日： 2003年05月02日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：

【課題】マイクロレンズ間の非開口部、マイクロレンズの表面からの反射光を低減させ、固体撮像素子のS/N比を改善し、画質向上を図ること。レンズ下距離を小さくし、集光性の改善を図ること。レンズ下距離を小さしてマイクロレンズの加工を容易にすること。耐熱性の改善を図ること。【解決手段】光電変換素子32、カラーフィルタ33、略半球状のマイクロレンズ36を配置した固体撮像素子において、カラーフィルタ上面上にフッ素系アクリル樹脂からなるマイクロレンズが形成され、マイクロレンズ間の非開口部39にフッ素系アクリル樹脂の薄膜37が形成されていること。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

少なくとも光電変換素子と、カラーフィルタと、略半球状のマイクロレンズを2次元的に配置した固体撮像素子において、該カラーフィルタ上面上にフッ素系アクリル樹脂からなるマイクロレンズが形成され、該マイクロレンズ間の非開口部にフッ素系アクリル樹脂の薄膜が形成されていることを特徴とする固体撮像素子。

IPC (2件)：

H01L27/14 , H04N5/335

FI (3件)：

H01L27/14 D , H04N5/335 U , H04N5/335 V

Fターム (15件)：

4M118AA02 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA09 , 4M118FA06 , 4M118GC08 , 4M118GD04 , 4M118GD07 , 4M118GD20 , 5C024CX03 , 5C024CX41 , 5C024CY47 , 5C024EX24 , 5C024EX43 , 5C024EX52

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開昭64-010666
特開平3-190166
液晶表示装置用基板
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-054030 出願人：凸版印刷株式会社

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