特許

J-GLOBAL ID：202103014242591706

共振ずり測定装置

発明者： 栗原 和枝 ,  水上 雅史 ,  粕谷 素洋
出願人/特許権者： 国立大学法人東北大学
代理人 (3件)： 棚井 澄雄 ,  飯田 雅人 ,  及川 周
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2019013845
公開番号（公開出願番号）：WO2020-194734
出願日： 2019年03月28日
公開日（公表日）： 2020年10月01日
要約：

この発明の共振ずり測定装置(1)は、圧電素子(15)、上部ディスク基板(16)及びバネ(17)を有する上部ユニット(10)と、下部ディスク基板(14)を有する下部ユニット(11)と、を備え、上部ディスク基板(16)の下面と下部ディスク基板(14)の上面との間が試料挿入部(21)を形成し、圧電素子(15)及び上部ディスク基板(16)は、バネ(17)を介して固定機材(30)に振動可能に接続され、ひずみゲージ(19)がバネ(17)に貼着され、圧電素子(15)に周波数を変化させながら交流電圧を印加することにより、上部ユニット(10)の振動に伴うひずみゲージ(19)からの共振時の応答電圧を測定する。

請求項（抜粋）：

圧電素子、上部ディスク基板及びバネを有する上部ユニットと、下部ディスク基板を有する下部ユニットと、を備え、 前記上部ディスク基板の下面と前記下部ディスク基板の上面との間が試料挿入部を形成し、 前記圧電素子及び前記上部ディスク基板は、バネを介して固定機材に振動可能に接続され、 ひずみゲージが前記バネに貼着され、 前記圧電素子に周波数を変化させながら交流電圧を印加することにより、前記上部ユニットの振動に伴う前記ひずみゲージからの共振時の応答電圧を測定する、共振ずり測定装置。

IPC (1件)：

G01N 11/00

FI (1件)：

G01N11/00 A