凝縮ガス中の不凝縮ガスの制御方法及び制御ユニット並びに判別方法及び判別ユニット

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：真田有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-071783
公開番号（公開出願番号）：特開2021-166979
出願日： 2020年04月13日
公開日（公表日）： 2021年10月21日
要約：

【課題】簡素な手法で、凝縮ガス中の不凝縮ガスを制御するとともに、不凝縮ガスの有無をリアルタイムで判別する。【解決手段】凝縮ガス中の不凝縮ガスの制御方法では、凝縮ガス及び不凝縮ガスが混在した容器2の内部を部分的に冷却することで凝縮ガスが凝縮する凝縮部4を生成し、この凝縮部4の圧力低下に起因した不凝縮ガスの流れを利用して、又は、凝縮部4の温度を制御することで、凝縮ガス中の不凝縮ガスの分布を制御する。また、この制御方法によって制御された不凝縮ガスを判別する方法では、プラズマ発生部6により容器2の内部でプラズマを発生させ、少なくとも、不凝縮ガスの種類ごとに決まったプラズマの発光スペクトルを観察することで、あるいは、凝縮部4に配置された温度センサーで計測された温度と容器2の内部の凝縮部4以外の温度とを比較することで、リアルタイムで凝縮ガス中の不凝縮ガスの有無を判別する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

凝縮ガス及び不凝縮ガスが混在した容器の内部を部分的に冷却することで前記凝縮ガスが凝縮する凝縮部を生成し、前記凝縮部の圧力低下に起因した前記不凝縮ガスの流れを利用して、又は、前記凝縮部の温度を制御することで、前記凝縮ガス中の前記不凝縮ガスの分布を制御することを特徴とする、凝縮ガス中の不凝縮ガスの制御方法。

IPC (2件)：

B01J 19/00 , G01N 21/67

FI (2件)：

B01J19/00 A , G01N21/67 Z

Fターム (33件)：

2G043AA01 , 2G043BA07 , 2G043BA10 , 2G043CA01 , 2G043DA08 , 2G043EA09 , 2G043FA01 , 2G043GA07 , 2G043GA10 , 2G043GB07 , 2G043GB11 , 2G043HA05 , 2G043JA02 , 2G043JA03 , 2G043JA04 , 2G043KA02 , 2G043LA03 , 2G043LA05 , 4G075AA03 , 4G075AA61 , 4G075AA63 , 4G075AA65 , 4G075BB10 , 4G075BD01 , 4G075CA03 , 4G075CA47 , 4G075DA01 , 4G075DA02 , 4G075EB01 , 4G075EB41 , 4G075EC14 , 4G075EC25 , 4G075FC04

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭56-121602
滅菌剤検査装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2015-532168 出願人：スリーエムイノベイティブプロパティズカンパニー
特開平4-212362

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